[发明专利]用于波导计量的方法与设备

权利要求书

1.一种波导计量系统，包括：

光源，所述光源耦接到第一工作台，所述光源被配置为将光导向设置在第二工作台上的样本保持器；

一个或多个扫描探测器，所述一个或多个扫描探测器设置在第三工作台上，所述一个或多个扫描探测器设置为在轨道上邻近所述样本保持器并与所述光源相对，所述一个或多个扫描探测器被配置为收集从所述光源传输的光；和

光谱仪，所述光谱仪与所述一个或多个扫描探测器通信。

2.如权利要求1所述的计量系统，其中所述第一工作台被配置为关于x、y或z轴线性移动。

3.如权利要求1所述的计量系统，其中所述第一工作台还被配置为围绕所述第二工作台绕转。

4.如权利要求1所述的计量系统，其中所述第二工作台被配置为绕垂直轴旋转。

5.如权利要求1所述的计量系统，所述系统进一步包含：

反射探测器，所述反射探测器设置在所述第一工作台上且与所述光源相邻。

6.一种波导计量系统，包括：

光源，所述光源耦接到第一工作台，所述光源被配置为朝向设置在第二工作台上的样本保持器传输光；

一个或多个散射仪，所述一个或多个散射仪耦接到第三工作台，所述一个或多个散射仪设置为邻近所述样本保持器并与所述光源相对，所述一个或多个散射仪被配置为收集由所述光源传输的光；

一个或多个反射探测器，所述一个或多个反射探测器耦接到第四工作台，所述反射探测器被配置为收集从所述样本保持器的方向朝所述第四工作台反射的光；和

光谱仪，所述光谱仪与所述一个或多个散射仪以及所述一个或多个反射探测器通信。

7.如权利要求6所述的计量系统，其中所述第一工作台被配置为关于x、y和z轴线性移动。

8.如权利要求7所述的计量系统，其中所述第一工作台还被配置为围绕所述样本保持器绕转。

9.如权利要求6所述的计量系统，其中所述第二工作台被配置为关于x、y和z轴线性移动。

10.如权利要求9所述的计量系统，其中所述第二工作台还被配置为绕所述z轴旋转。

11.如权利要求6所述的计量系统，其中所述第三工作台与所述第四工作台被配置为围绕所述样本保持器绕转。

12.如权利要求6所述的计量系统，其中所述第一工作台和所述第二工作台被同步以测量样本的角度和空间均匀性特性。

13.一种波导计量系统，包括：

准直光源，所述准直光源与第一工作台耦接；

样本保持器，所述样本保持器设置在第二工作台上；

反射探测器，所述反射探测器耦接至第三工作台并被配置为收集从所述样本保持器的方向反射的光；

透射探测器，所述透射探测器耦接到第四工作台并被配置为收集从所述光源传输的光；和

光谱仪，所述光谱仪与所述反射探测器以及所述透射探测器通信。

14.如权利要求13所述的计量系统，其中所述第一工作台与所述第二工作台被配置为关于x、y和z轴线性移动并绕所述z轴旋转。

15.如权利要求13所述的计量系统，其中所述第三工作台与所述第四工作台被配置为关于x、y和z轴线性移动。