[发明专利]力反馈补偿的绝对压力传感器

权利要求书

1.一种用于麦克风的微机电换能器即MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：

封闭腔室，其中，所述封闭腔室的压力低于大气压力；

导电引脚阵列，所述导电引脚阵列在所述封闭腔室中处于固定位置，固定的所述导电引脚阵列呈二维分布并且在所述导电引脚阵列之间形成有间隙；

介电网格，所述介电网格位于所述封闭腔室内，所述介电网格包括位于固定的所述导电引脚阵列的间隙之间的介电材料网格，所述介电网格被配置成平行于固定的所述导电引脚阵列移动；以及

振膜，所述振膜被配置成形成所述封闭腔室的一部分并且响应于所述封闭腔室内的压力与所述换能器外部的压力之间的压差的变化而偏转，所述振膜进一步被配置成响应于所述压差的变化而使所述介电网格相对于固定的所述导电引脚阵列移动。

2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，固定的所述导电引脚阵列包括第一组导电引脚，所述第一组导电引脚互连以形成第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极之间的电容响应于所述介电网格的移动而改变。

3.根据权利要求2所述的MEMS换能器，其中，当电压源在至少所述第一电极和所述第二电极之间施加电压时，平行于所述导电引脚的力被施加在所述介电网格上。

4.根据权利要求3所述的MEMS换能器，其中，固定的所述导电引脚阵列进一步包括第二组导电引脚，所述第二组导电引脚互连以形成连接到所述电压源的第三电极和连接到所述电压源的第四电极，且当所述电压源在所述第三电极和所述第四电极之间施加电压时，平行于固定的所述导电引脚阵列的力被施加在所述介电网格上。

5.根据权利要求2所述的MEMS换能器，其中，所述第一电极包括多个第一电极，所述第二电极包括多个第二电极，所述多个第一电极通过多个第一引线连接到第一焊盘，并且所述多个第二电极通过多个第二引线连接到第二焊盘，并且其中，所述多个第一引线和所述多个第二引线相互交叉。

6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述介电网格悬挂在所述封闭腔室内。

7.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中，所述介电网格通过弹簧安装在所述封闭腔室内。

8.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述封闭腔室具有小于30Pa的压力。

9.根据权利要求8所述的MEMS换能器，其中，所述封闭腔室具有小于10Pa的压力。