[发明专利]用于检查样本的显微镜系统和方法

权利要求书

1.一种用于检查样本（118）的显微镜系统（100、200），包括：

带有可移动的显微镜台（116）的显微镜（102），待检查的所述样本（118）可位于该显微镜台上；和

控制部（104），该控制部被设计用于：

- 把第一位置信号传输至所述显微镜台（116），借助该第一位置信号可使得所述显微镜台（116）移动至第一台位置；

- 当所述显微镜台（116）移动至所述第一台位置时引起所述显微镜（102）在第一检查步骤中检查所述样本（118）的指配于所述第一台位置的第一区域；

- 把至少一个第二位置信号传输至所述显微镜台（116），借助该第二位置信号可使得所述显微镜台（116）移动至第二台位置；并且

- 当所述显微镜台（116）移动至所述第二台位置时引起所述显微镜（102）在时间上位于所述第一检查步骤之后的第二检查步骤中检查所述样本（118）的指配于所述第二台位置的第二区域，

其特征在于，所述控制部（104）还被设计用于，

- 在所述显微镜台（116）移向所述第一台位置期间，把所述第二位置信号传输至所述显微镜台（116）。

2.如权利要求1所述的显微镜系统（100、200），其中，所述控制部（104）还被设计用于：

- 根据在所述第一检查步骤中通过所述显微镜（102）检测的检查结果来产生第三位置信号，并在所述显微镜台（116）移向所述第二台位置期间把所述第三位置信号传输至所述显微镜台（116）；并且

- 当所述显微镜台（116）移动至第三台位置时引起所述显微镜（102）在时间上位于所述第二检查步骤之后的第三检查步骤中检查所述样本（118）的指配于所述第三台位置的第三区域。

3.如权利要求1或2所述的显微镜系统（100、200），其中，所述显微镜台（116）可在垂直于所述显微镜（102）的物镜（120）的光学轴线（O）的平面内移动。

4.如权利要求1或2所述的显微镜系统（100、200），其中，所述显微镜（102）包括探测器（122），该探测器被设计用于把在所述第一检查步骤和/或所述第二检查步骤中求取的检查结果发送至所述控制部（104）。

5.如权利要求1或2所述的显微镜系统（100），其中，所述显微镜台（116）具有台驱动部（121）和台控制单元（130），该台控制单元被设计用于接收相应的由所述控制部（104）传输的位置信号，并且借助所接收的位置信号来控制所述台驱动部（121），以便移动所述显微镜台（116）。

6.如权利要求1或2所述的显微镜系统（100、200），其中，所述显微镜台（116）具有存储器（131），在该存储器中可存储相应的位置信号。

7.如权利要求1或2所述的显微镜系统（100），其中，所述显微镜（102）是反射光显微镜或透射光显微镜。

8.如权利要求1或2所述的显微镜系统，其中，所述显微镜（102）是竖直式显微镜或倒置式显微镜。

9.一种用于借助显微镜（102）检查样本（118）的方法，包括如下步骤：

把待检查的所述样本（118）放置在所述显微镜（102）的可移动的显微镜台（116）上；

把第一位置信号传输至所述显微镜台（116）；

借助所述第一位置信号使得所述显微镜台（116）移动至第一台位置；

引起所述显微镜（102）在第一检查步骤中检查所述样本（118）的指配于所述第一台位置的第一区域；

把至少一个第二位置信号传输至所述显微镜台（116）；

借助所述第二位置信号使得所述显微镜台（116）移动至第二台位置；

引起所述显微镜（102）在时间上位于所述第一检查步骤之后的第二检查步骤中检查所述样本（118）的指配于所述第二台位置的第二区域；

其特征在于，在所述显微镜台（116）移向所述第一台位置期间，把所述第二位置信号传输至所述显微镜台（116）。