[发明专利]使用具有有限自由度的集成远心光学检测器的激光处理系统的自动校准

权利要求书

1.一种激光处理系统(10)，包括：

框架结构(12)；

加工基座(14)，用于支撑加工材料(16)，其中，所述加工基座(14)在加工平面(18)中限定加工场(28)，其中，所述加工平面(18)平行于所述加工基座(14)；

至少一个激光装置(20)，用于当所述加工材料(16)设置在所述加工基座(14)上时，将加工光投射到所述加工平面(18)上和/或所述加工材料(16)上，其中，所述至少一个激光装置(20)刚性地附接到所述框架结构(12)；

其中，每个激光装置(20)配置为在相应激光场(30)内在所述加工材料(16)上和/或所述加工平面(18)上生成一个或多个参考标记(24)，其中，所述激光场(30)与所述加工场(28)的至少部分相对应；

光学检测器(40)，用于扫描所述加工场(28)，以检测由每个激光装置(20)生成的所述一个或多个参考标记(24)的至少部分，其中，所述光学检测器(40)独立于所述至少一个激光装置(20)，并且能够相对于所述框架结构(12)以不超过两个自由度移动；以及

控制单元(50)，功能性地连接到所述光学检测器(40)和所述至少一个激光装置(20)，其中，所述控制单元(50)配置为基于由所述光学检测器(40)检测到的所述参考标记(24)来校准所述至少一个激光装置(20)。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光学检测器(40)可相对于所述框架结构(12)以不超过一个自由度移动。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光学检测器(40)包括照明装置(42)，所述照明装置(42)配置为照明所述一个或多个参考标记(24)的所述部分、所述加工场(28)、所述加工基座(14)和/或所述加工材料(16)。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述加工基座(14)能够相对于所述框架结构(12)在垂直于所述加工平面(18)的方向上移动，并且其中，所述加工基座(14)相对于所述框架结构(12)的位置在平行于所述加工平面(18)的两个方向上固定。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光学检测器(40)能够相对于所述框架结构(12)在一个扫描方向上移动，其中所述扫描方向/平行于所述加工平面(18)，使得所述光学检测器(40)与所述加工平面(18)和/或所述加工材料(16)之间的在垂直于所述加工平面(18)的方向(z)上的距离(D)固定。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光学检测器(40)在平行于所述加工平面(18)的检测方向(x,r)上延伸。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述检测方向(x,r)垂直于所述扫描方向

8.根据权利要求5所述的系统，其中，所述扫描方与所述光学检测器(40)相对于所述框架结构(12)的移动具有自由度的方向相对应；以及/或其中，所述检测方向(x,r)与所述光学检测器(40)相对于所述框架结构(12)的移动没有自由度的方向相对应。

9.根据权利要求6所述的系统，其中，所述光学检测器(40)在所述检测方向(x,r)上的长度至少与所述加工场(28)在所述检测方向(x,r)上的长度(L₁)相对应；以及/或

其中，所述光学检测器(40)在所述扫描方向上可移动至少与所述加工场(28)在所述扫描方向/上的长度(L₂)相对应的长度。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述框架结构(12)包括用于引导所述光学检测器(40)移动的引导结构(44)。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述引导结构(44)至少包括导轨(46a、46b)。