[发明专利]使用钌前驱物的等离子体增强原子层沉积(PEALD)方法

权利要求书

1.一种用于沉积钌的方法，其包括：

(a)将具有式I：R^AR^BRu(0)的钌前驱物提供至衬底表面，其中R^A为含芳基配位体，且R^B为含二烯基配位体；及

(b)使用大于200W的功率将还原等离子体提供至所述衬底表面，

其中在等离子体增强原子层沉积PEALD方法中，将钌沉积于所述衬底上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述含钌前驱物具有式II：

其中一或多个或R¹至R⁶选自H及C1-C6烷基，R⁷为0(共价键)或具有1至4个碳原子的二价烯烃基，且R⁸及R⁹形成一或多个环结构或选自H及C1-C6烷基。

3.根据权利要求2所述的方法，其中R¹至R⁶中的一者、两者或三者选自C1-C3烷基，其中剩余的R¹至R⁶为H。

4.根据权利要求2所述的方法，其中R⁷为0(共价键)，且R⁸及R⁹形成一或多个环结构。

5.根据权利要求1所述的方法，其中R^A及R^B不包含任何杂原子。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述钌前驱物具有在12至20、14至18、或15至17的范围内的总碳原子量。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述钌前驱物具有在16至28的范围内、在19至25的范围内、或在20至24的范围内的总氢原子量。

8.根据权利要求1所述的方法，其中R^A为具有两个不同烷基的二烷基苯。

9.根据权利要求1所述的方法，其中R^A选自由以下组成的群组：甲苯、二甲苯、乙苯、异丙苯及异丙基甲苯。

10.根据权利要求1所述的方法，其中R^B为环状二烯。

11.根据权利要求1所述的方法，其中R^B为共轭二烯。

12.根据权利要求1所述的方法，其中R^B为1,3-环己二烯或1,4-环己二烯或烷基环己二烯。

13.根据权利要求1所述的方法，其中钌前驱物选自由以下组成的群组：(异丙基甲苯)(1,3-环己二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(1,4-环己二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(1-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(2-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(3-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(4-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(5-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(6-甲基环己-1,3-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(1-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(2-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(3-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(4-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)、(异丙基甲苯)(5-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)及(异丙基甲苯)(6-甲基环己-1,4-二烯)Ru(0)。