[发明专利]电磁复合透镜和具有这样的透镜的带电粒子光学系统

权利要求书

1.一种电磁复合透镜，包括：

静电透镜，设置在所述复合透镜的光轴上；以及

磁透镜，设置在所述轴上，其中所述磁透镜包括围绕所述光轴的环形永磁体。

2.根据权利要求1所述的复合透镜，还包括：

第一磁极件和第二磁极件，所述永磁体沿所述光轴在所述第一磁极件与所述第二磁极件之间，其中在所述第一磁极件与所述第二磁极件之间形成环形间隙，使得初始由所述永磁体生成的磁场被引导以通过所述间隙朝向所述光轴泄漏。

3.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述间隙被形成在所述永磁体的径向内侧上。

4.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述间隙被形成为沿所述光轴靠近所述永磁体的一端。

5.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述第一磁极件和所述第二磁极件直接接触所述永磁体。

6.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述第一磁极件的内径不同于所述第二磁极件的内径。

7.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述静电透镜包括第一电极和第二电极，其中所述第一磁极件和所述第二磁极件沿所述光轴在所述第一电极与所述第二电极之间。

8.根据权利要求2所述的复合透镜，其中所述第一磁极件是所述静电透镜的第一电极并且所述第二磁极件是所述静电透镜的第二电极。

9.根据权利要求7所述的复合透镜，其中所述静电透镜还包括沿所述光轴在所述第一电极与所述第二电极之间的第三电极。

10.根据权利要求9所述的复合透镜，其中所述第三电极设置在所述间隙中。

11.根据权利要求10所述的复合透镜，其中所述第三电极完全设置在所述间隙内。

12.根据权利要求9所述的复合透镜，其中所述第三电极具有比所述第一磁极件的内径和所述第二磁极件的内径小的内径。

13.根据权利要求9所述的复合透镜，其中所述第三电极覆盖所述第一磁极件和所述第二磁极件的面向所述光轴的内表面。

14.一种带电粒子光学系统，包括：

设置在第一光轴上的束流分离器，所述束流分离器被配置为将由源生成的初级带电粒子束的多个束波与响应于所述束波的照射而从样品发射的多个次级带电粒子束分离，其中次级带电粒子束在穿过所述束流分离器之后沿第二光轴行进；

次级成像系统，被配置为将所述次级带电粒子束沿所述第二光轴聚焦到检测器上，其中

所述次级成像系统包括电磁复合透镜，所述电磁复合透镜包括：

设置在所述第二光轴上的静电透镜；以及

设置在所述第二光轴上的磁透镜，其中所述磁透镜包括环形永磁体。

15.一种用于配置具有光轴的电磁复合透镜的方法，包括：

形成具有永磁体的磁透镜；

使用两个磁极件将所述磁透镜的磁场引导向所述光轴；以及

形成静电透镜，所述静电透镜具有沿所述光轴围绕所述两个磁极件的两个端电极。