[发明专利]射束调向装置

权利要求书

1.一种射束调向装置，其包括：

衬底，其限定腔并具有第一折射率；

电活性材料，其安置在所述腔内并具有可变折射率；

第一覆层，其耦合到所述衬底，以接收与所述第一覆层的第一平面正交的入射光束并将所述入射光束耦合到所述电活性材料中；以及

第二覆层，其耦合到所述衬底并限定第二平面，所述第二平面相对于所述第一平面倾斜以在所述第一平面与所述第二平面之间限定倾斜角，所述第二覆层从所述电活性材料接收所述入射光束，并将折射后的所述入射光束输出为输出光束。

2.根据权利要求1所述的射束调向装置，其中所述第一覆层和所述第二覆层各自包含由导电且基本上光学透明的材料形成的电极层，以接收电信号并生成第一电场以施加于所述第一覆层与所述第二覆层之间的所述电活性材料，

其中所述电活性材料响应于所述第一电场的施加而达到与所述第一折射率不同的第二折射率。

3.根据权利要求2所述的射束调向装置，其中所述电活性材料是液晶，并且其中所述第一覆层和所述第二覆层各自还包含对准层以在不存在所述第一电场的情况下实现所述液晶材料的对准。

4.根据权利要求3所述的射束调向装置，其中所述对准层由经过摩擦的聚酰亚胺层构成。

5.根据权利要求1所述的射束调向装置，其还包括：

第三覆层，其耦合到所述衬底并限定与所述第一平面正交的第三平面；以及

第四覆层，其耦合到所述衬底并限定与所述第三平面平行的第四平面，

其中所述电活性材料能够操作以基于施加于所述第一覆层与所述第二覆层之间的所述电活性材料的第一电场的强度以及基于施加于所述第三覆层与所述第四覆层之间的所述电活性材料的第二电场的强度而具有与所述第一折射率不同的第二折射率。

6.根据权利要求5所述的射束调向装置，其中所述电活性材料是液晶，其中所述第三覆层和所述第四覆层各自包含：

电极层，其由导电且基本上光学透明的材料形成，以接收用于生成所述第二电场的电信号；以及

对准层，其安置在其对应的电极层上，以在不存在所述第一电场的情况下实现所述液晶材料的对准。

7.根据权利要求6所述的射束调向装置，其中所述对准层由经过摩擦的聚酰亚胺层构成。

8.根据权利要求5所述的射束调向装置，其中所述第一电场、所述第二场或这两者能够操作以将所述电活性材料过驱动到达到所述第二折射率。

9.根据权利要求5所述的射束调向装置，其中所述第一电场、所述第二场或这两者能够操作以使所述第二折射率在第一值与第二值之间扫动。

10.根据权利要求9所述的射束调向装置，其中所述第一值与所述第二值之间的所述扫动是连续的。

11.一种扫描系统，其包括被布置成包含第一射束调向装置的第一级和包含其余的射束调向装置的第二级的一组射束调向装置，每个射束调向装置形成为根据权利要求5所述的射束调向装置，

其中所述第一射束调向装置接收所述入射光束并将所述输出光束作为第一输出光束输出，

其中所述第一射束调向装置的所述第一电场、所述第一射束调向装置的第二场或这两者能够操作以调制所述第一射束调向装置的所述电活性材料的所述第二折射率，以选择性地将所述第一输出光束作为输入光束耦合到所述第二级的所述射束调向装置中的一个。