[发明专利]虚拟测定装置、虚拟测定方法及虚拟测定程序

权利要求书

1.一种虚拟测定装置，包括：

取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组；以及

学习部，以使通过利用多个网络部对取得的所述时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式，使所述多个网络部进行机器学习。

2.根据权利要求1所述的虚拟测定装置，还包括：

推测部，将通过利用进行了机器学习的所述多个网络部对针对新的对象物所取得的时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果推测为对所述新的对象物进行了处理时的结果物的检查数据。

3.一种虚拟测定装置，包括：

取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组；以及

推测部，利用多个网络部对取得的所述时间序列数据组进行处理，并且将由该多个网络部输出的各输出数据的合成结果推测为对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据，

其中，所述多个网络部以使通过对预先取得的时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在制造工艺的预定处理单元中对对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式进行了机器学习。

4.根据权利要求1所述的虚拟测定装置，其中，

所述学习部通过分别根据第一基准和第二基准对取得的所述时间序列数据组进行处理来生成第一时间序列数据组和第二时间序列数据组，并且以使通过利用不同的网络部对生成的所述第一时间序列数据组和所述第二时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式，使所述不同的网络部进行机器学习。

5.根据权利要求4所述的虚拟测定装置，还包括：

推测部，通过分别根据所述第一基准和所述第二基准对针对新的对象物所取得的时间序列数据组进行处理来生成第一时间序列数据组和第二时间序列数据组，并且将通过利用进行了机器学习的所述不同的网络部对该第一时间序列数据组和第二时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果推测为对所述新的对象物进行了处理时的结果物的检查数据。

6.根据权利要求1所述的虚拟测定装置，其中，

所述学习部根据数据种类或时间范围对取得的所述时间序列数据组进行分组，并且以使通过利用不同的网络部对各组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式，使所述不同的网络部进行机器学习。

7.根据权利要求6所述的虚拟测定装置，还包括：

推测部，根据所述数据种类或所述时间范围对针对新的对象物所取得的时间序列数据组进行分组，并且将通过利用进行了机器学习的所述不同的网络部对各组进行处理而输出的各输出数据的合成结果推测为对所述新的对象物进行了处理时的结果物的检查数据。

8.根据权利要求1所述的虚拟测定装置，其中，

所述学习部将取得的所述时间序列数据组输入至各自包括利用不同的方法进行归一化的归一化部的不同的网络部，并且以使通过利用该不同的网络部对该时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在所述制造工艺中对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式，使所述不同的网络部进行机器学习。

9.根据权利要求8所述的虚拟测定装置，还包括：

推测部，将针对新的对象物所取得的时间序列数据组分别输入至进行了机器学习的所述不同的网络部，并且将通过利用进行了机器学习的所述不同的网络部对该时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果推测为对所述新的对象物进行了处理时的结果物的检查数据。