[发明专利]检测装置及显示装置有效
申请号: | 201980076544.7 | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN113168788B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 内田真;纲岛贵徳 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
主分类号: | G09F9/00 | 分类号: | G09F9/00;G09F9/30;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/146;A61B5/1172 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 马强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 显示装置 | ||
1.一种检测装置,具有:
绝缘基板;
多个光电转换元件,排列在所述绝缘基板的检测区域,并分别输出与被照射的光相应的信号;
第一开关元件,与多个所述光电转换元件分别对应设置,并包括第一半导体、源极电极和漏极电极;
多个栅极线,与所述第一开关元件连接且在第一方向上延伸;
多个信号线,与所述第一开关元件连接且与所述第一方向交叉;以及
无机绝缘层,在所述绝缘基板的法线方向上设置在所述光电转换元件与所述第一开关元件之间,
所述第一开关元件包括在所述绝缘基板的法线方向上隔着所述第一半导体而设置的第一栅极电极和第二栅极电极,
在由多个栅极线和多个信号线包围的区域中,所述第一栅极电极与所述第二栅极电极电连接。
2.根据权利要求1所述的检测装置,其中,
所述检测装置具有覆盖所述第一开关元件的平坦化膜,
在所述绝缘基板的法线方向上,所述无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述光电转换元件之间。
3.根据权利要求1所述的检测装置,其中,
所述检测装置具有覆盖所述第一开关元件的平坦化膜,
在所述绝缘基板的法线方向上,所述无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述第一开关元件之间。
4.根据权利要求3所述的检测装置,其中,
所述源极电极以及所述漏极电极隔着层间绝缘层设置在所述第一半导体的上侧,且分别经由设置于所述层间绝缘层的接触孔与所述第一半导体电连接,
所述无机绝缘层覆盖所述源极电极和所述漏极电极。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的检测装置,其中,
所述检测装置具有:
栅极线驱动电路,包括具有第二半导体的第二开关元件,所述栅极线驱动电路设置在所述检测区域的外侧的周边区域,用于驱动多个所述栅极线,
所述无机绝缘层遍及与所述第二开关元件重叠的区域而设置。
6.根据权利要求5所述的检测装置,其中,
所述第一半导体是氧化物半导体,
所述第二半导体是多晶硅。
7.根据权利要求1所述的检测装置,其中,
所述无机绝缘层包括第一无机绝缘层和第二无机绝缘层,
所述检测装置具有覆盖所述第一开关元件的平坦化膜,
在所述绝缘基板的法线方向上,所述第一无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述光电转换元件之间,所述第二无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述第一开关元件之间。
8.根据权利要求7所述的检测装置,其中,
所述源极电极以及所述漏极电极隔着层间绝缘层设置在所述第一半导体的上侧,并分别经由设置于所述层间绝缘层的接触孔与所述第一半导体电连接,
所述第二无机绝缘层覆盖所述源极电极及所述漏极电极。
9.一种显示装置,具有:
权利要求1至8中任一项所述的检测装置;以及
显示面板,具有用于显示图像的显示元件,并且所述显示面板与所述检测装置相对配置。
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