[发明专利]通过动态新月面制作多组分结构

权利要求书

1.制造多组分结构(145)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

通过对应的递送口(110)递送多个至少部分彼此不同的电镀溶液(115)，所述电镀溶液(115)与所述多组分结构(145)的组分相对应，所述递送口(110)开设在沉积头(100)的工作表面(105)上，

通过多个移除口(120)移除递送到所述工作表面(105)上的所述电镀溶液(115)，对各个递送口(110)，至少一个所述移除口(120)开设在所述工作表面(105)上并至少部分地围绕所述递送口(110)，从而产生对应的动态液滴(125)，每个动态液滴(125)由保持附着在工作表面(105)上固定位置的所述电镀溶液(115)形成，所述动态液滴(125)的内容物通过所述电镀溶液(115)从所述递送口(110)流至所述移除口(120)的流连续地更新，

根据所述多组分结构(145)中所述电镀溶液(115)的组分量，分别设置所述电镀溶液(115)的对应沉积电流(Ia-Id)，

使基底(130)与一个以上的所述动态液滴(125)的多个组中的每一个相继彼此接触，当所述动态液滴(125)与所述基底(130)接触时，所述动态液滴(125)在所述工作表面(105)和所述基底(130)之间转化为对应的动态新月面(135a-135d)，并且当所述动态新月面(135a-135d)与所述基底(130)分离时，所述动态新月面(135a-135d)变回所述动态液滴(125)，和

至少在所述动态液滴(125)的组的所述电镀溶液(115)和所述基底(130)之间施加沉积电流(Ia-Id)，从而使所述动态新月面(135a-135d)将所述多组分结构(145)的对应组分的层(140a-140d)电镀沉积在基底(130)上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

通过开设在所述工作表面(105)上的对应的其他递送口(606)递送一个以上的冲洗溶液(612)，

通过一个以上的其他移除口(609)移除递送到所述工作表面(105)上的所述冲洗溶液(612)，对各个其他递送口(606)，一个以上所述其他移除口(609)开设在所述工作表面(105)上并至少部分地围绕所述其他递送口(606)，从而产生对应的其他动态液滴(615)，每个其他动态液滴(615)由保持附着在所述工作表面(105)上固定位置的所述冲洗溶液(612)形成，所述其他动态液滴(615)的内容物通过所述冲洗溶液(612)从所述其他递送口(606)流至所述其他移除口(609)的流连续地更新，

在前述的动态液滴(125)的组的至少一个与所述基底(130)接触后，使基底(130)与一个以上的所述其他动态液滴(615)的一个以上其他组中的每一个彼此接触，当所述其他动态液滴(615)与所述基底(130)接触时，所述其他动态液滴(615)在所述工作表面(105)和所述基底(130)之间转化为对应的其他动态新月面，并且当所述其他动态新月面与所述基底(130)分离时，所述其他动态新月面变回所述其他动态液滴(615)，所述其他动态液滴(615)的其他组中的每一个的所述其他动态新月面使前述动态液滴(125)的组的所述动态新月面(135a-135d)的所述电镀溶液(115)冲洗所述基底(130)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述方法包括交替重复以下步骤：

使所述基底(130)与所述动态液滴(125)的组以第一顺序彼此接触，和

使所述基底(130)与所述动态液滴(125)的组以第二顺序彼此接触，所述第二顺序与所述第一顺序相反。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述方法包括：

在使所述基底(130)与所述动态液滴(125)的组以第二顺序彼此接触期间，对所有递送口(110)停止所述电镀溶液(115)的递送和/或所述沉积电流(Ia-Id)的施加。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中，所述方法包括：

在使所述基底(130)与所述动态液滴(125)的组相继彼此接触期间，对与至少一个选定的递送口(110)的组不同的所述递送口(110)的组，停止所述电镀溶液(115)的递送和/或所述沉积电流(Ia-Id)的施加。