[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法

说明书

一种在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：燃烧器，其喷射原料气体以合成玻璃微粒；移动机构，其配置有燃烧器，并使燃烧器随着玻璃微粒沉积体的直径增大而后退；气化器，其以与燃烧器一体地同时后退的方式配置在移动机构中，并使液体的硅氧烷气化以成为原料气体；配管，其将原料气体从气化器供给到燃烧器；以及加热机构，其在230℃以上的加热温度下加热配管。

技术领域

本发明涉及玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法。

本专利申请要求基于2018年12月4日提出的日本专利申请第2018-227115号的优先权，并且援引该专利申请中记载的全部记载内容。

背景技术

专利文献1中记载了使用硅氧烷作为原料以形成玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器和玻璃微粒沉积体的制造方法。

专利文献2中记载了随着玻璃微粒沉积体生长且其内径增大，使燃烧器后退。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-224007号公报

专利文献2：日本特开2012-62203号公报

发明内容

本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置，

是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：

燃烧器，其喷射原料气体以合成所述玻璃微粒；

移动机构，其配置有所述燃烧器，并使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的直径增大而后退；

气化器，其以与所述燃烧器一体地同时后退的方式配置在所述移动机构中，并使液体的硅氧烷气化以成为所述原料气体；

配管，其将所述原料气体从所述气化器供给到所述燃烧器；以及

加热机构，其在230℃以上的加热温度下加热所述配管。

另外，本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造方法，

是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，具有：

气化工序，其中，通过气化器使液体的硅氧烷气化以成为原料气体；

加热工序，其中，在230℃以上的加热温度下对将气化后的所述原料气体从所述气化器供给到燃烧器的配管进行加热；以及

沉积工序，其中，将所述燃烧器和所述气化器配置在移动机构内，并且随着所述玻璃微粒沉积体的直径增大，通过所述移动机构使所述燃烧器和所述气化器一体地后退，并使由所述燃烧器喷射出的所述原料气体所合成的所述玻璃微粒沉积在所述起始棒上。

附图说明

[图1]图1是本发明实施方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的示意性构成图。

具体实施方式

(本发明要解决的课题)

在使用硅氧烷以形成玻璃微粒沉积体时，将硅氧烷气化后供给到燃烧器，但是硅氧烷的沸点高于现有的用作原料的四氯化硅，因此原料气体容易在燃烧器内或向燃烧器供给原料的配管内冷却、液化。因此，例如在专利文献1中，在加热燃烧器的同时，也对供给气化后的原料气体的配管进行加热以防止液化。

然而，由于供给原料气体的配管的配管长度较长，因此难以保持温度不变以使得整个配管长度都处于硅氧烷的沸点以上的温度。另外，当配管的温度过高时，硅氧烷会发生聚合反应而粒子化，成为配管堵塞的原因。