[发明专利]用于确定样品表面处的压力的方法

权利要求书

1.一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的方法，所述样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，所述壁将所述样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤a)在所述样品区域(2)中提供具有多个不同的样品参考压力的气体(101)，

步骤b)对于每个所述样品参考压力，测量所述低压腔室(4)内产生的腔室参考压力，以确定所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系(102)，

步骤c)将所述样品(1)布置成使所述样品表面(Ss)在距所述孔(3)一段距离处面对所述孔(3)(103)，

步骤d)在所述样品表面处提供具有样品表面压力的气体(104)，

步骤e)测量所述低压腔室(4)内的腔室压力(105)，以及

步骤f)使用所测得的腔室压力以及所确定的所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系来确定样品表面压力(106)，

其中，所述低压腔室(4)中的压力小于每个所述样品参考压力。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述步骤b)和所述步骤e)中，在所述低压腔室(4)中保持小于1mbar的压力，优选小于10^-2bar的压力，最优选小于10^-3的压力。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述步骤a)中，不同的所述样品参考压力中的每个所述样品参考压力都高于10mbar。

4.根据权利要求1所述的方法，在所述步骤a)之前包括以下步骤：设置包围所述样品区域(2)和所述端壁(6)的测试容器(21)，以使所述低压腔室(4)的内部通过所述孔(3)与所述测试容器(21)的内部流体连通，其中所述样品区域(2)中的所述样品参考压力通过在所述测试容器(5)中提供所述样品参考压力来实现。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，包括以下步骤：在端表面(S)中设置至少一个气体出口(5)，所述至少一个气体出口被设置成将来自气体供应设备(20)的气体引导到所述端表面(S)与所述样品表面(Ss)之间的体积中，并且其中，所述样品表面压力通过从所述气体供应设备(20)向所述至少一个气体出口(5)供应气体来提供。

6.根据权利要求5所述的方法，包括以下步骤：

-以预定的时间间隔测量所述低压腔室(4)内的压力，以及

-以闭环来控制所述气体供应设备(20)，使得所述低压腔室(4)内的压力保持恒定，从而保持所述样品表面(Ss)处的压力恒定。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，所述样品表面(Ss)与所述孔3之间的距离保持为小于1mm，优选地小于300μm。

8.一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的计算机程序，所述样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，所述壁将所述样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开，

其中，能通过气体供应设备(20)来提供样品压力，并且其中，能通过第一压力测量器件(G1)来测量所述低压腔室(4)内的压力，其中，所述计算机程序包括这样的指令：当所述指令由至少一个处理器执行时，所述至少一个处理器进行以下步骤：

-从第二压力测量器件(G2)接收多个不同的样品参考压力值，

-对于每个所述样品参考压力，从所述第一压力测量器件(G1)接收表示所述低压腔室(4)中的压力的腔室参考压力值，以确定所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系，

-在接收到所述样品(1)已经布置成使所述样品表面(Ss)在离所述孔(3)一段距离处面对所述孔(3)的信号之后，控制所述气体供应设备(20)在所述样品表面处提供具有样品表面压力的气体，

-从所述第一压力测量器件(G1)接收腔室压力值，所述腔室压力值表示所述低压腔室(4)内的压力，以及

-使用所述腔室压力值以及所确定的所述样品参考压力与所述腔室参考压力之间的关系来确定所述样品表面压力。