[发明专利]高分辨率激光诱导正向转移

权利要求书

1.用于激光诱导正向转移(LIFT)的方法，所述方法包括：

提供具有待转移的供体材料(11m)的供体衬底(11)；

在距离所述供体衬底(11)转移距离(Zt)处提供接收衬底(12)，用于接收所述供体材料(11m)；

用一个或多个激光脉冲(L1、L2)激励所述供体衬底(11)，将所述一个或多个激光脉冲(L1、L2)的能量(E1、E2)传递至所述供体材料(11m)中，用于发起所述转移；

其中，所述能量(E1、E2)根据强度分布(Ixy)传递，所述强度分布(Ixy)在所述供体材料(11m)的界面(11xy)上进行空间上的调整，以使所述供体材料(11m)从所述供体衬底喷射作为延伸射流(Je)，所述延伸射流(Je)在转移周期(Tt)期间暂时地桥接所述供体衬底(11)与所述接收衬底(12)之间的所述转移距离(Zt)；

其中，所述强度分布(Ixy)在所述供体材料(11m)上的相对大的第一光斑尺寸(Ds1)上具有第一强度范围(I1)，以使所述延伸射流(Je)从所述供体衬底(11)启动作为相应的相对厚的射流(J1)；

其中，所述强度分布(Ixy)在小于所述第一光斑尺寸(Ds1)的相对小的第二光斑尺寸(Ds2)上具有高于所述第一强度范围(I1)的第二强度范围(I2)，其中，组合的所述强度范围(I1、I2)和所述光斑尺寸(Ds1、Ds2)的所述强度分布(Ixy)具有非高斯形状，所述非高斯形状在所述强度分布(Ixy)的中心处具有局部增强的强度尖峰(Is)，通过所述中心处的所述局部增强的强度，使所述厚的射流(J1)在所述供体衬底(11)和所述接收衬底(12)之间的分支位置(J12)处分支成相对薄的射流(J2)，其中，仅所述薄的射流(J2)到达所述接收衬底(12)，用于在断裂之前沉积所述供体材料(11m)的液滴(Jd)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述供体衬底(11)被至少两个激光脉冲(L1、L2)激励，其中，第一激光脉冲(L1)的光路与第二激光脉冲(L2)的光路至少部分地不同，其中，所述光路在所述供体衬底(11)处重新组合，以通过所述激光脉冲(L1、L2)的组合效应使所述供体材料(11m)朝向所述接收衬底(12)转移。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一激光脉冲(L1)具有激励所述供体材料(11m)的第一光斑尺寸(Ds1)，并且所述第二激光脉冲(L2)具有激励所述供体材料(11m)的第二光斑尺寸(Ds2)，其中，所述第二光斑尺寸(Ds2)比所述第一光斑尺寸(Ds1)小至少两倍。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述第二激光脉冲(L2)以时间差(dt)相对于所述第一激光脉冲(L1)延迟，所述时间差(dt)在十纳秒至十微秒之间。

5.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述第一激光脉冲(L1)具有比所述第二激光脉冲(L2)高至少两倍的脉冲能量。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在操作期间基于所述延伸射流(Je)的记录图像和/或基于对获得的所述液滴的尺寸(Dx)的测量来控制重叠的光斑中的一个或多个的尺寸和/或强度。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述供体衬底(11)与接收衬底(12)之间的所述转移距离(Zt)比沉积的所述液滴(Jd)的尺寸(Dx)大至少十倍。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述供体衬底(11)上的所述供体材料(11m)的层厚度(Zm)在二十微米至一百微米之间。