[发明专利]流量限制件、流量限制组件和光刻设备

权利要求书

1.一种用于布置于管道中以便限制所述管道中的流体的流量的流量限制件，所述流量限制件包括：

主体，所述主体沿轴线延伸，所述主体包括：

中心部分，所述中心部分沿所述轴线具有恒定的截面积；

上游部分，所述上游部分沿所述轴线连接至所述中心部分的上游侧，其中所述上游部分的横截面积在沿所述轴线的下游方向上单调地增加；以及

下游部分，所述下游部分连接至所述中心部分的下游侧，其中所述下游部分的横截面积沿所述下游方向单调地减小；并且

其中所述流量限制件还包括用于与管道的内表面接合的多个中心部分突出部，其中每个中心部分突出部沿垂直于所述中心部分的表面的方向从所述中心部分的表面突伸出小于500μm的距离。

2.根据权利要求1所述的流量限制件，其中每个中心部分突出部沿垂直于所述中心部分的表面的方向从所述中心部分的表面突伸出大于10μm的距离。

3.根据权利要求1或2所述的流量限制件，其中所述主体绕所述轴线圆柱地对称，

所述中心部分包括圆柱体，并且

所述多个突出部中的每个突出部沿垂直于所述轴线的方向突伸出。

4.根据权利要求3所述的流量限制件，其中所述下游部分包括具有在从2°至15°范围内的锥角的锥体。

5.根据权利要求1或2所述的流量限制件，其中所述下游部分包括尖缘，所述尖缘被配置成引导流体沿平行于所述轴线的方向沿所述尖缘的表面流动。

6.根据权利要求1或2所述的流量限制件，还包括：

分流元件，所述分流元件被配置成在垂直于所述轴线的平面中完全环绕所述主体的所述下游部分，

其中所述分流元件被配置成沿垂直于所述轴线的方向与所述下游部分间隔开，使得所述分流元件与所述下游部分之间的距离沿所述下游方向单调地增加。

7.根据权利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件包括围绕所述下游部分同心地布置的截头中空锥体。

8.根据权利要求7所述的流量限制件，其中下游部分包括锥体，并且其中所述截头中空锥体具有在所述下游部分的锥体的锥角的0.3倍至0.7倍的范围内的锥角。

9.根据权利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件在沿所述轴线的方向上比所述下游部分更短。

10.根据权利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件包括用于与管道的内表面接合的多个分流元件突出部，

其中所述轴线与所述分流元件突出部的端部表面之间的距离等于所述轴线与所述中心部分突出部的端部表面之间的距离。

11.一种流量限制组件，所述流量限制组件包括根据前述权利要求中任一项所述的流量限制件和管道，其中

所述管道包括管道内表面；

所述流量限制件的主体同心地布置于所述管道内，使得所述主体的中心部分与所述管道内表面之间的距离是均一的；并且

所述流量限制件的中心部分突出部中的每个中心部分突出部与所述管道内表面接合以便将所述流量限制件相对于所述管道保持在适当的位置，并且使得所述主体的所述中心部分与所述管道内表面之间的距离小于500μm。

12.根据权利要求11所述的流量限制组件，其中所述管道与所述流量限制件的所述主体是呈圆柱形对称的。

13.根据权利要求11或12所述的流量限制组件，其中所述流量限制件是根据权利要求6至10中任一项所述的流量限制件，且其中

所述流量限制件的分流元件在垂直于所述轴线的平面中完全环绕所述流量限制件的下游部分，并且

所述分流元件沿垂直于所述轴线的方向与所述下游部分间隔开，使得分流板与所述下游部分之间的距离沿所述下游方向单调地增加。