[发明专利]在基板上形成装置的方法

权利要求书

1.一种用于在基板上形成装置的方法，所述方法包括以下步骤：

从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第一表面上形成一个或多个装置；和

从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第二表面上形成一个或多个装置，其中所述第一表面和所述第二表面在所述基板的相对侧上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

相对于所述基板的所述第一表面以优化的角度引导所述一个或多个离子束中的每一个离子束；和

相对于所述基板的所述第二表面以优化的角度引导所述一个或多个离子束中的每一个离子束。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述基板是柔性基板。

4.根据权利要求3所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：

通过滚动系统，沿着所述一个或多个离子束的路径滚动具有所述第一表面和所述第二表面的所述基板的各部分。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述滚动系统包括多个滚子和多个滚子致动器。

6.一种用于在基板上形成装置的系统，所述系统包括：

被定位成朝向基板的第一表面投射一个或多个离子束的一个或多个离子束腔室；和

被定位成朝向基板的第二表面投射一个或多个离子束一个或多个离子束腔室，其中所述第一表面和所述第二表面在所述基板的相对侧上。

7.根据权利要求6所述的系统，其中：

所述一个或多个离子束中的每一个离子束相对于所述基板的所述第一表面以优化的角度被引导；和

所述一个或多个离子束中的每一个离子束相对于所述基板的所述第二表面以优化的角度被引导。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述基板为柔性基板。

9.根据权利要求6所述的系统，进一步包括扫描仪，所述扫描仪被构造成沿着靠近所述基板的y方向和x方向的至少一个方向移动基座，使得所述一个或多个装置形成在所述基板的不同部分上。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述基座是经由扫描仪移动的。

11.一种上面具有指令的计算机可读取介质，所述指令当由一个或多个处理器执行时，造成系统：

从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第一表面上形成一个或多个装置；和

从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第二表面上形成一个或多个装置，其中所述第一表面和所述第二表面在所述基板的相对侧上。

12.根据权利要求11所述的计算机可读取介质，其中：

所述一个或多个离子束中的每一个离子束相对于所述基板的所述第一表面以优化的角度被引导；和

一个或多个离子束中的每一个离子束相对于所述基板的所述第二表面以优化的角度被引导。

13.根据权利要求11所述的计算机可读取介质，其中所述基板为柔性基板。

14.根据权利要求13所述的计算机可读取介质，其中所述指令在由一个或多个处理器执行时，进一步造成所述系统：

沿着所述一个或多个离子束的路径滚动具有所述第一表面和所述第二表面的所述基板的各部分。

15.根据权利要求14所述的计算机可读取介质，其中所述滚动系统包括多个滚子和多个滚子致动器。