[发明专利]检测组件表面特性的方法、所述方法监测组件表面质量的用途以及调整组件表面特性的设备

权利要求书

1.用于检测组件表面特性差异的方法，其中在所述组件的特定温度下由所述组件发射的红外辐射在指定接收器表面上在相对于所述组件的至少两个不同方位作为辐射强度进行检测，其中以如下方式进行定位，使得在所述接收器表面的每个方位所述接收器表面上的三个固定点沿着其表面法线与所述组件表面的距离保持基本不变，所检测的辐射强度的方位相关性等同于所述组件的所述表面特性的差异。

2.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，通过所述接收器表面的几何重心的位置沿着所述表面法线在所述组件的表面上的投影等同于所检测的辐射强度的位置，将所检测的辐射强度的所述方位相关性转换成为所述组件表面上的位置相关性。

3.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，通过伪彩色成像示出所检测的辐射强度的所述方位相关性或位置相关性。

4.用于检测至少两个由相同材料制成的组件的表面特性差异的方法，其中在各个组件的特定温度下由所述组件发射的红外辐射在指定接收器表面上在相对于每个单独组件的至少一个方位作为辐射强度进行检测，总是以如下方式检测由每个单独组件发射的辐射强度，在所述接收器表面相对于每个组件的至少一个方位所述接收器表面上的三个固定点沿着其表面法线与每个组件表面的距离以及每个单独组件的温度保持基本不变，其中在所述接收器表面上检测的所述组件的辐射强度的差异等同于所述组件的所述表面特性的差异。

5.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，用于检测所述辐射强度的所述接收器表面由热电材料制成。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在1.0×10^-6至1.0×10^-4m的范围内、特别优选在3.0×10^-6至2.0×10^-5m的范围内的波长范围或波长处检测所述辐射强度。

7.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，利用温度传感器测定一个或多个所述组件的温度，其中每个所述组件优选连接到热源或散热器以调节特定温度。

8.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，一个或多个所述组件具有至少1Wm^-1K^-1的热导率，优选是金属的，特别优选由选自锡、钛、铝、镁、铁、锌、铬、镍或铜及其合金的金属材料制成。

9.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，一个或多个所述组件可具有各自在所检测的波长范围内或在每个所检测的波长处基本透明的涂层或湿膜。

10.根据前述权利要求之一所述的方法用于监测和任选调整源自制造工艺的组件的表面质量的用途。

11.根据权利要求10所述的用途，其特征在于，作为所述表面质量的实际值，将在根据权利要求1至9所述的方法中检测的从所述组件作为红外辐射发射的辐射强度与具有所期望的表面质量的相同组件以相同方式检测的作为所述表面质量的目标值的辐射强度进行比较，并且任选地所述组件彼此之间关于其偏差的预定公差进行检查和/或进行定性分类。

12.根据权利要求11所述的用途，其特征在于，在包括许多工艺步骤的组件的系列生产中，在指定生产阶段关于所述系列的每个组件的表面质量的实际值与目标值的偏差的程度的信息被输送到至少一个控制器，所述控制器针对检测所述表面质量的实际值之前的工艺步骤中的工艺参数输出与偏差的程度一对一相关的每一个操纵变量，其中所述操作变量致使所述工艺参数的值发生如下变化，相对于与所述目标值的偏差造成所述操纵变量的组件实际值，在指定生产阶段在以发生变化的工艺参数实施所述之前的工艺步骤的组件的表面质量的实际值更接近所述表面质量的目标值。