[发明专利]可移动装置，测距装置，图像投影装置，车辆和台座

说明书

可移动装置包括：可移动部，包括反射面；一对驱动梁，配置为将所述可移动部设置在所述一对驱动梁之间，可绕规定的旋转轴旋转地支撑所述可移动部；以及支撑部，配置为支撑所述一对驱动梁。在所述可移动部不旋转的状态下，所述支撑部在所述可移动部的两侧的各侧，在沿着所述反射面的平面内，在与所述旋转轴相交的方向，具有光通过部，所述光通过部配置为允许由所述反射面反射的光穿过所述光通过部。

技术领域

本发明涉及可移动装置，测距装置，图像投影装置，车辆和台座。

背景技术

近年来，随着应用半导体制造技术的微机械技术的发展，对硅或玻璃进行精细加工制造的微电子机械系统(MEMS)装置的开发得到进展。

作为MEMS装置，已知一种可移动装置，其在晶片上一体形成设有反射面的可移动部和弹性梁，将薄膜化的压电材料叠加在弹性梁构成驱动梁，用所述驱动梁驱动(旋转)可移动部。

另外，公开了通过可移动部旋转使得在反射面反射的光扫描的可移动装置(例如，参照专利文献1)。可移动装置包括围绕可移动部的支撑框架，该支撑框架可旋转地支撑可移动部，并且使得支撑框架分离。

引文列表

专利文献

【专利文献1】JP-3552601-B

发明内容

技术问题

在包括围绕可移动部的支撑框架的可移动装置中，可移动部和支撑框架接近配置。当可移动部的旋转角度增加时，在反射面的扫描光的一部分被支撑框架遮挡，光的扫描角度受到限制。在该专利文献1描述的装置中，支撑框架在与旋转轴交叉方向上没有被分离，并且没有公开分离处和扫描角度之间的关系，因此，不能解决扫描角度受限制的问题。

鉴于上述问题而做出本公开，本公开的目的是通过可移动装置来增加光的扫描角度。

解决问题的方案

根据本公开技术的一个方面的可移动装置包括：可移动部，包括反射面；一对驱动梁，配置为将所述可移动部设置在所述一对驱动梁之间，可绕规定的旋转轴旋转地支撑所述可移动部；以及支撑部，配置为支撑所述一对驱动梁。在所述可移动部不旋转的状态下，所述支撑部在所述可移动部的两侧的各侧，在沿着所述反射面的平面内，在与所述旋转轴相交的方向，具有光通过部，所述光通过部配置为允许由所述反射面反射的光穿过所述光通过部。

本发明的效果

按照所公开的技术，可以通过可移动装置增加光的扫描角度。

附图说明

附图旨在描绘本公开的示例实施例，并且不应被解释为限制其范围。除非明确指出，否则附图不应视为按比例绘制。同样，在几个视图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的组件。

图1是光扫描系统的示例的示意图。

图2是光扫描系统的示例的硬件图。

图3是控制装置的示例的功能框图。

图4是与光扫描系统有关的处理的示例的流程图。

图5是配备有平视显示装置(HUD)的汽车的示例的示意图。

图6是HUD的示例的示意图。

图7是配备有光写入装置的图像形成装置的示例的示意图。

图8是光写入装置的示例的示意图。

图9是配备有激光成像检测和测距(LiDAR)装置的汽车的另一示例的示意图。

图10是LiDAR装置的示例的示意图。

图11是激光前照灯的配置的示例的示意图。