[发明专利]压电材料和压电器件

权利要求书

1.一种压电材料，包括：

Al_1-x[(Ag_a,Nb_b,Sc_c)_y]_xN作为其主要成分，

其中

0.055≤a≤1.33或0.001≤a≤0.124，

0.055≤b≤1.33或0.001≤b≤0.124，

0≤c，

y＝1/(a+b+c)，

0.03≤x≤0.75。

2.根据前述权利要求所述的压电材料，其中

0.001≤a≤0.124，

0.001≤b≤0.124，

0.03≤x≤0.372。

3.根据前述权利要求之一所述的压电材料，

其中x选自0.03、0.06、0.0625、0.09、0.12、0.15、0.18、0.21、0.24、0.27、0.30、0.33、0.36、0.39、0.42、0.45、0.48、0.51、0.54、0.57、0.60、0.63、0.66、0.69、0.72和0.75。

4.根据权利要求1所述的压电材料，

其中所述主要成分是Al_0.875Ag_0.0625Nb_0.0625N。

5.根据权利要求1所述的压电材料，

其中所述主要成分是Al_0.814Ag_0.062Nb_0.062Sc_0.062N。

6.根据前述权利要求中任一项所述的压电材料，其中在所述主要成分中，至少25.6(原子％)、31.8(原子％)、38.0％(原子％)、44.2(原子％)、50.4(原子％)、56.6(原子％)、62.8(原子％)、69.0(原子％)、75.2(原子％)、81.4(原子％)、87.6(原子％)、90.8(原子％)、93.8(原子％)、95.8(原子％)、98.0(原子％)是Al，而剩下的是包含Ag(银)和Nb(铌)的二元掺杂AlN压电材料的组合。

7.根据前述权利要求中任一项所述的压电材料，其中在所述主要成分中，至少25.6(原子％)、30.25(原子％)、34.9％(原子％)、44.2(原子％)、53.5(原子％)、62.8(原子％)、72.1(原子％)、75.4(原子％)、81.4(原子％)、87.4(原子％)、90.7(原子％)、93.8(原子％)、95.35(原子％)、96.28(原子％)、96.9(原子％)是Al，而剩下的是包含Ag(银)、Nb(铌)和Sc(钪)的二元掺杂AlN压电材料的组合。

8.一种压电器件，包括根据前述权利要求之一所述的材料。

9.根据前述权利要求所述的压电器件，所述器件选自：

-电声谐振器、SAW谐振器、SAW滤波器、固定安装的反射器，

SMR、BAW谐振器、(SMR-)BAW滤波器、引导BAW(GBAW)谐振器、GBAW滤波器、薄膜体声波(FBAR)谐振器、FBAR滤波器，

-使用兰姆波、声板波(APW)、瑞利SAW(R-SAW)、西沙瓦模式波、横切SAW(SH-SAW)、洛夫模式波、伪表面声波(PSAW)或漏SAW(LSAW)进行工作的器件，

-多路复用器、双工器、四工器、六工器、基于以上类型谐振器中的任何一种的多路复用器、压电发生器、压电传感器、质量传感器、微流体传感器、压电换能器、能量收集器、超声器件、换能器或发射器、压电(MEMS)麦克风、或者利用薄的膜或体陶瓷形式的直接或反向压电效应的类似器件。