[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源

说明书

紫外光产生用靶(20)包括发光层(22)。发光层(22)包含至少添加有钪(Sc)的YPO4晶体，接收电子束(EB)而产生紫外光(UV)。此外，紫外光产生用靶(20)的制造方法包括制作含有钇(Y)的氧化物、Sc的氧化物、磷酸和液体的混合物的第1工序、使液体蒸发的第2工序、以及对混合物进行烧成的第3工序。由此，实现了包含与Sc:Al2O3不同的电子束激发的有用的发光材料的紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。

技术领域

本发明涉及紫外光产生用靶及其制造方法，以及电子束激发紫外光源。

背景技术

在专利文献1中公开了涉及接收电子束而产生紫外光的光源的技术。在该紫外光源中，作为发光材料使用添加了Sc的Al₂O₃(也记作“Sc:Al₂O₃”)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-245292号公报

发明内容

发明所要解决的问题

一直以来，作为紫外光源，使用汞疝气灯或氘灯等电子管。但是，这样的紫外光源大型且发光效率低，另外，在稳定性及寿命方面存在技术问题。此外，在使用汞疝气灯的情况下，担心汞对环境的影响。

另一方面，作为其它的紫外光源，有具备通过向靶照射电子束而激发紫外光的结构的紫外光源(例如，参照专利文献1)。这样的光源作为有效利用高的稳定性的光学测量领域、或有效利用低消耗电力性的杀菌及消毒用、或者利用高的波长选择性的医疗用光源及生物化学用光源而受到期待。而且，在利用电子束激发紫外光的光源中，除上述的Sc:Al₂O₃以外，还寻求电子束激发的有用的发光材料。

本发明的目的在于，提供包含与Sc:Al₂O₃不同的电子束激发的有用的发光材料的紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。

解决问题的技术手段

本发明的实施方式为紫外光产生用靶。紫外光产生用靶包括发光部，该发光部包含至少添加有钪(Sc)的YPO₄晶体且接收电子束而产生紫外光。

本发明的实施方式为紫外光产生用靶的制造方法。紫外光产生用靶的制造方法是制造上述结构的紫外光产生用靶的方法，包括制作含有钇(Y)的氧化物、钪(Sc)的氧化物、磷酸或磷酸化合物、以及液体的混合物的第1工序、使液体蒸发的第2工序、和对混合物进行烧成的第3工序。

本发明的实施方式为电子束激发紫外光源。电子束激发紫外光源包括上述结构的紫外光产生用靶和向发光部照射电子束的电子源。

发明的效果

根据本发明的实施方式，能够提供包含与Sc:Al₂O₃不同的电子束激发的有用的发光材料的紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。

附图说明

图1是表示具备一个实施方式的紫外光产生用靶的电子束激发紫外光源的内部结构的示意图。

图2是表示紫外光产生用靶的结构的截面图。

图3是表示紫外光产生用靶的制造方法中的各工序的流程图。

图4是表示利用激光烧蚀的紫外光产生用靶的制造方法中的各工序的流程图。

图5是概略地表示实施例中使用的实验装置的图。

图6是表示第1实施例中得到的、烧成温度与发光强度的关系的曲线图。