[发明专利]控制装置、光学滤光器系统、控制方法

权利要求书

1.一种控制装置，其中，

是用于控制具有经由空隙互相相对的一对镜部、及经由所述空隙互相相对的一对驱动电极且所述一对镜部间的距离根据蓄积于所述一对驱动电极间的电荷而变化的法布里-帕罗干涉滤光器的控制装置，

具备：

第1驱动源，其使用电流作为控制参数而被控制，使所述一对镜部间的距离变化；

第2驱动源，其使用电压作为控制参数而被控制，使所述一对镜部间的距离变化；及

控制部，其在蓄积于所述一对驱动电极间的电荷与所述一对驱动电极间的电压的关系中，以在将包含所述电压的最大值的区域设为第1区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第1区域以外区域的至少一部分中，通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

2.如权利要求1所述的控制装置，其中，

所述控制部在所述关系中，以在将所述电荷大于所述第1区域的区域设为第2区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第2区域中通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

3.如权利要求2所述的控制装置，其中，

所述第2驱动源具有第1驱动部，

所述第1驱动部构成为，

在所述第1驱动部的控制电压大于在所述一对驱动电极间产生的电压的情况下，所述一对镜部间的距离增加；

并且在所述第1驱动部的控制电压小于在所述一对驱动电极间产生的电压的情况下，所述一对镜部间的距离减少，

所述控制部以在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第2区域中通过所述第1驱动部使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

4.如权利要求3所述的控制装置，其中，

所述第1驱动部包含运算放大器，

在所述运算放大器中，非反相输入端子连接于输出端子，所述输出端子连接于所述法布里-帕罗干涉滤光器，对反相输入端子施加所述控制电压。

5.如权利要求1所述的控制装置，其中，

所述控制部在所述关系中，以在将所述电荷小于所述第1区域的区域设为第3区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第3区域中通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

6.如权利要求2所述的控制装置，其中，

所述控制部在所述关系中，以在将所述电荷小于所述第1区域的区域设为第3区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第3区域中通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

7.如权利要求3所述的控制装置，其中，

所述控制部在所述关系中，以在将所述电荷小于所述第1区域的区域设为第3区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第3区域中通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。

8.如权利要求4所述的控制装置，其中，

所述控制部在所述关系中，以在将所述电荷小于所述第1区域的区域设为第3区域时，在所述第1区域中通过所述第1驱动源使所述一对镜部间的距离变化，在所述第3区域中通过所述第2驱动源使所述一对镜部间的距离变化的方式，控制所述第1驱动源及所述第2驱动源。