[发明专利]同时获取平行对准标记的设备和方法

权利要求书

1.一种用于同时检测对准图案的多个平行对准标记的设备，所述设备包括：

光源，用于同时产生多个光束，所述多个光束包括各自的空间相干光束，每个光束用于照射所述多个对准标记中的相应一个对准标记；

光收集光学器件，所述光收集光学器件被布置成在光束已与相应的对准标记相互作用之后同时收集所述多个光束中的每个光束；以及

多个检测器，每个检测器分别被布置成接收所述多个光束中的一个光束。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源包括多个单模光纤。

3.根据权利要求2所述的设备，其中单模光纤是能够移动的，并且来自单模光纤的光被中继到对准标记使得移动所述单模光纤导致来自所述单模光纤的光扫描对准标记的一部段。

4.根据权利要求3所述的设备，其中每个单模光纤以机械方式联接至用于移动单模光纤的装置。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源包括集成光学器件。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述集成光学器件包括多模干涉装置。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述集成光学器件包括1XN定向耦合器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述光源提供轴上照射。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述光源提供轴上照射。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述光收集光学器件包括Offner中继器。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的设备，其中所述光收集光学器件包括多个柱面透镜。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的设备，其中所述多个检测器包括被布置呈与所述平行对准标记相邻且平行的线性阵列的多个检测器元件，并且其中所述光收集光学器件包括多个物镜，所述多个检测器元件中的每个检测器元件具有多个物镜中的相应一个物镜。

13.根据权利要求12所述的设备还包括多个转向反射镜，每个转向反射镜被布置成接收入射的照射光束，所述转向反射镜是能够调节的以便将入射的照射光束引导到相应一个对准标记。

14.一种用于同时照射对准图案的多个平行对准标记的设备，所述设备包括：

空间相干辐射源；以及

光学元件，被布置成接收所空间相干辐射并且同时产生多个光束，所述多个光束包括用于每个对准标记的相应空间相干光束。

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述光学元件包括多个单模光纤。

16.根据权利要求14所述的设备，其中光源包括集成光学器件。

17.根据权利要求16所述的设备，其中所述集成光学器件包括多模干涉装置。

18.根据权利要求16所述的设备，其中所述集成光学器件包括1XN定向耦合器。

19.根据权利要求14至18中任一项所述的设备，其中所述光源提供轴上照射。

20.根据权利要求14至18中任一项所述的设备，其中光源提供轴上照射。