[发明专利]两头磨削方法

权利要求书

1.一种两头磨削方法，其使用两头磨削装置，根据厚度测量机构的测量结果，进行磨削直至被磨削物的厚度成为规定厚度，所述两头磨削装置包括：磨削机构，使所述被磨削物转动且向该被磨削物的两主面供给磨削液，并使砂轮的磨石分别与所述被磨削物的两主面抵接，由此磨削所述被磨削物；及厚度测量机构，测量所述被磨削物的厚度，所述两头磨削方法的特征在于，包括如下工序：

第1磨削工序，一边向第1被磨削物的两主面供给规定量的磨削液，一边进行磨削直至所述第1被磨削物的厚度成为所述规定厚度；

纳米形貌测量工序，测量所述第1被磨削物的纳米形貌；及

第2磨削工序，根据所述纳米形貌测量工序的测量结果，将磨削条件调整成第2被磨削物的纳米形貌接近0，并进行磨削直至所述第2被磨削物的厚度成为所述规定厚度，

所述第2磨削工序中，通过一边维持所述第1磨削工序中磨削液的总供给量，一边调整对所述第2被磨削物的一个主面的磨削液的供给量与对另一个主面的磨削液的供给量的比率，从而对所述第2被磨削物进行磨削，在所述第1被磨削物的一个主面的中心凹陷的情况下，提高对所述第2被磨削物的两个主面中与所述第1被磨削物的中心凹陷的所述一个主面相同侧的主面的磨削液的供给量比率，在所述第1被磨削物的一个主面的中心突出的情况下，降低对所述第2被磨削物的两个主面中与所述第1被磨削物的中心突出的所述一个主面相同侧的主面的磨削液的供给量比率。

2.根据权利要求1所述的两头磨削方法，其特征在于,

作为所述厚度测量机构，使用差动变压器型位移计，所述差动变压器型位移计具有分别与所述被磨削物的两主面接触的一对接触件，通过输出与该一对接触件的位置对应的信号，测量所述被磨削物的厚度。