[发明专利]用于微流体装置的膜、微流体装置及其制造方法

权利要求书

1.一种用于微流体装置的膜，所述膜粘结到在其表面中形成有流动通道的聚二甲基硅氧烷基板，从而形成其中具有不透液体的流动通道的微流体装置，所述膜包括：

基体材料；以及

亲水性涂层；其中

所述亲水性涂层包含(甲基)丙烯酸树脂以及基于所述亲水性涂层的总质量计65质量％至95质量％的未改性纳米二氧化硅粒子，并且其中所述亲水性涂层具有3nm或更小的表面粗糙度。

2.根据权利要求1所述的膜，其中所述亲水性涂层的初始水接触角为30度或更小。

3.根据权利要求1或2所述的膜，其中当所述膜在40℃和75％的相对湿度下放置30天时，所述亲水性涂层的水接触角为30度或更小。

4.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述亲水性涂层的Δ雾度值为-1.5％至1.5％，并且所述Δ雾度值是通过从使用#0000钢丝绒和350g负荷进行10次钢丝绒耐磨性测试循环之后的雾度值(％)减去初始雾度值(％)所获得的值。

5.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述(甲基)丙烯酸树脂具有至少一个选自环氧乙烷部分和环氧丙烷部分的部分。

6.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述亲水性涂层还包含硅烷偶联剂。

7.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述亲水性涂层具有0.05μm至10μm的厚度。

8.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述基体材料是聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。

9.根据权利要求1或2所述的膜，其中所述基体材料是透明的。

10.一种微流体装置，所述微流体装置包括：

在其表面中形成有流动通道的聚二甲基硅氧烷基板；以及根据权利要求1或2所述的膜；其中

所述聚二甲基硅氧烷基板与所述膜粘结，使得所述聚二甲基硅氧烷基板的在其中形成所述流动通道的所述表面面向所述膜的所述亲水性涂层，并且在内部提供不透液体的流动通道。

11.一种用于制造微流体装置的方法，所述方法包括：

制备在其表面中形成有流动通道的聚二甲基硅氧烷基板；

制备根据权利要求1或2所述的膜；

活化所述聚二甲基硅氧烷基板的在其中形成所述流动通道的所述表面以及所述膜的所述亲水性涂层；以及

使所述聚二甲基硅氧烷基板与所述膜粘结，使得所述聚二甲基硅氧烷基板的在其中形成所述流动通道的所述表面面向所述膜的所述亲水性涂层，从而在所述微流体装置内形成不透液体的流动通道。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述活化是通过经受氧等离子体处理来进行的。