[发明专利]化学-机械研磨粒子以及包含其的研磨浆料组合物有效

专利信息
申请号: 201980087413.9 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN113302256B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 文元均;金宰贤;申圭淳;朴钟大;李敏键;陈成勋;李玖和;赵京淑;柳在鸿 申请(专利权)人: 株式会社东进世美肯
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;C09G1/04
代理公司: 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 代理人: 魏彦
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 化学 机械 研磨 粒子 以及 包含 浆料 组合
【权利要求书】:

1.一种化学-机械研磨粒子,其特征在于:

所述化学-机械研磨粒子包含:研磨粒子以及所述研磨粒子表面上的铝簇,

通过反向滴定法获得的酸度系数峰值的数量为1个以上,而且所述峰值中的至少一个峰值的酸度系数值是在4.3~4.9的范围之内,

电动电势为40mV以上。

2.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:

所述峰值的数量为3个。

3.根据权利要求2所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:

所述3个峰值中酸度系数值最大的峰值的峰值面积最大。

4.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:

所述研磨粒子包含二氧化硅粒子。

5.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:

所述铝簇包含[Al(OH)]2+、[Al(OH)2]+、[Al2(OH)2(H2O)8]4+、[Al13O4(OH)24(H2O)12]7+以及[Al2O8Al28(OH)56(H2O)26]18+中的一种以上。

6.一种研磨组合物,其特征在于,包含:

根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的化学-机械研磨粒子、pH调节剂以及水。

7.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

所述化学-机械研磨粒子的含量是在0.1至10重量%的范围之内。

8.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

还包含作为氧化剂的含过氧基的化合物。

9.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

还包含用于提升研磨速度的含铁催化剂。

10.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

还包含乙酸钠与乙酸的组合、硫酸钠与硫酸的组合、柠檬酸、甘氨酸、咪唑以及磷酸钾中的1种以上的分散稳定剂。

11.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

还包含吡啶甲酸、甲基吡啶、吡啶二甲酸、吡啶、哌啶酸以及喹啉酸中的1种以上的研磨特性改善剂。

12.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:

还包含烷基三甲基氯化铵、二烷基二甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、烷基二胺五甲基氯化铵、聚乙二醇、三甘醇、二甘醇、聚(乙二醇)山梨糖醇六油酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇三油酸酯以及羟乙基纤维素中的1种以上的表面品质提升剂。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东进世美肯,未经株式会社东进世美肯许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980087413.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code