[发明专利]化学-机械研磨粒子以及包含其的研磨浆料组合物有效
申请号: | 201980087413.9 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN113302256B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 文元均;金宰贤;申圭淳;朴钟大;李敏键;陈成勋;李玖和;赵京淑;柳在鸿 | 申请(专利权)人: | 株式会社东进世美肯 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;C09G1/04 |
代理公司: | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人: | 魏彦 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学 机械 研磨 粒子 以及 包含 浆料 组合 | ||
1.一种化学-机械研磨粒子,其特征在于:
所述化学-机械研磨粒子包含:研磨粒子以及所述研磨粒子表面上的铝簇,
通过反向滴定法获得的酸度系数峰值的数量为1个以上,而且所述峰值中的至少一个峰值的酸度系数值是在4.3~4.9的范围之内,
电动电势为40mV以上。
2.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:
所述峰值的数量为3个。
3.根据权利要求2所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:
所述3个峰值中酸度系数值最大的峰值的峰值面积最大。
4.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:
所述研磨粒子包含二氧化硅粒子。
5.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子,其特征在于:
所述铝簇包含[Al(OH)]2+、[Al(OH)2]+、[Al2(OH)2(H2O)8]4+、[Al13O4(OH)24(H2O)12]7+以及[Al2O8Al28(OH)56(H2O)26]18+中的一种以上。
6.一种研磨组合物,其特征在于,包含:
根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的化学-机械研磨粒子、pH调节剂以及水。
7.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
所述化学-机械研磨粒子的含量是在0.1至10重量%的范围之内。
8.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
还包含作为氧化剂的含过氧基的化合物。
9.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
还包含用于提升研磨速度的含铁催化剂。
10.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
还包含乙酸钠与乙酸的组合、硫酸钠与硫酸的组合、柠檬酸、甘氨酸、咪唑以及磷酸钾中的1种以上的分散稳定剂。
11.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
还包含吡啶甲酸、甲基吡啶、吡啶二甲酸、吡啶、哌啶酸以及喹啉酸中的1种以上的研磨特性改善剂。
12.根据权利要求6所述的研磨组合物,其特征在于:
还包含烷基三甲基氯化铵、二烷基二甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、烷基二胺五甲基氯化铵、聚乙二醇、三甘醇、二甘醇、聚(乙二醇)山梨糖醇六油酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇三油酸酯以及羟乙基纤维素中的1种以上的表面品质提升剂。
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