[发明专利]锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种锍盐，其由下述通式(1)表示，

式(1)中，R1表示噻吨酮基，R2表示碳原子数为6的芳基，芳基的一部分氢原子被取代基(t)取代；该取代基(t)为选自由碳原子数为1～18的烷基、以及碳原子数为1～18的烷氧基组成的组中的至少一种；R3～R5分别为烷基或烷氧基；k、m和n分别表示R3、R4、R5的数量，k为0，m为0，n为1～4的整数，至少1个R5相对于C-S⁺键键合在邻位上，A表示-O-、-S-、-SO-或-SO₂-所示的基团，O表示氧原子，S表示硫原子，X^-表示MY_a^-、(Rf)_bPF_6-b^-、R⁶_cBY_4-c^-、R⁶_cGaY_4-c^-、R⁷SO₃^-、(R⁷SO₂)₃C^-或(R⁷SO₂)₂N^-所示的阴离子或者樟脑磺酸根阴离子或对甲苯磺酸根阴离子，M表示磷原子、硼原子、砷原子或锑原子，Y表示卤原子，Rf表示80摩尔％以上的氢原子被氟原子取代的烷基，P表示磷原子，F表示氟原子，R⁶表示至少1个氢原子被卤原子、三氟甲基、硝基或氰基取代的苯基，B表示硼原子，Ga表示镓原子，R⁷表示碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的全氟烷基或碳原子数为6～20的芳基，S表示硫原子，O表示氧原子，C表示碳原子，N表示氮原子，a表示4～6的整数，b表示1～5的整数，c表示1～4的整数。

2.如权利要求1所述的锍盐，其中，n为1或2，A为-S-所示的基团。

3.如权利要求1或2所述的锍盐，其中，X^-为SbF₆^-、PF₆^-、BF₄^-、(CF₃CF₂)₃PF₃^-、(CF₃CF₂CF₂CF₂)₃PF₃^-、(C₆F₅)₄B^-、((CF₃)₂C₆H₃)₄B-、(C₆F₅)₄Ga^-、((CF₃)₂C₆H₃)₄Ga^-、三氟甲磺酸根阴离子、九氟丁磺酸根阴离子、甲磺酸根阴离子、樟脑磺酸根阴离子、苯磺酸根阴离子或对甲苯磺酸根阴离子所示的阴离子。

4.一种光产酸剂，其特征在于，其含有权利要求1～3中任一项所述的锍盐。

5.一种能量射线固化性组合物，其包含权利要求4所述的光产酸剂和阳离子聚合性化合物。

6.一种固化体，其特征在于，其是使权利要求5所述的能量射线固化性组合物固化而得到的。

7.一种化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物，其包含成分(A)和成分(B)，所述成分(A)包含权利要求4所述的光产酸剂，所述成分(B)是在酸的作用下对碱的溶解性增大的树脂。