[发明专利]确定结合波的走向的测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 201980089391.X 申请日: 2019-01-18
公开(公告)号: CN113302727A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: D·青纳;J·马林格;T·普拉赫;B·波瓦扎伊;H·罗林格;J·M·聚斯 申请(专利权)人: EV集团E·索尔纳有限责任公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01N21/00;H01L23/00;G01B11/30;H01L21/18
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 胡莉莉;刘春元
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 确定 结合 走向 测量 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于确定结合波在第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的走向的测量装置(1),其包括:

- 至少一个发射器(7),所述至少一个发射器(7)能放置在所述间隙(3)的外围边缘(3u)处,用于沿着通过所述间隙(3)伸展的信号路径以电磁波的形式发出信号(9),

- 至少一个接收器(8、8'),所述至少一个接收器(8、8')能放置在该外围边缘(3u)处,用于接收第一信号路径的所述信号(9),所述信号(9)由所述发射器(7)通过所述间隙(3)发送,且在结合之前和/或在所述结合期间能被改变。

2.根据权利要求1所述的测量装置(1),所述测量装置(1)在结合设备中尤其是原地能被采用。

3.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(1),其中,所述发射器(7)和/或所述接收器(8、8')能沿着所述外围边缘(3u)移动。

4.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(1),所述测量装置(1)包括分布在所述外围边缘(3u)处的多个发射器(7)和/或多个接收器(8、8'),所述多个接收器(8、8')分布在所述外围边缘(3u)处,在各情况中都分配给尤其是对置布置的发射器(7),尤其是每个发射器(7)至少两个接收器(8、8')。

5.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(1),其中,每个发射器(7)尤其是同时地发出多个信号路径,和/或每个接收器(8、8')在各情况中都被分配给单一信号路径。

6.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(1),其具有评估单元,用于尤其是通过变换、优选地拉东变换由所述至少一个接收器(8、8')接收到的所述信号(9)来确定沿着所述信号路径的测量值。

7.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(1),其中,以检测所述信号(9)的光学特性的方式来构造所述至少一个接收器(8、8'),所述光学特性尤其是下列光学特性中的一个或多个光学特性:

- 双折射

- 折射率

- 表现为横向电磁波的信号的模式

- 运行时间

- 光谱编码。

8.一种结合设备,其包括根据上述权利要求中任一项所述的测量装置(1)。

9.根据上一权利要求所述的结合设备,其包括用于取决于结合波的走向来影响所述结合波的影响构件。

10.一种用于尤其是利用根据上述权利要求所述的测量装置(1)来确定结合波在第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的走向的方法,该方法具有下列步骤、尤其是下列流程:

- 在该间隙(3)的外围边缘(3u)处布置至少一个发射器(7),

- 在该间隙(3)的该外围边缘(3u)处布置至少一个接收器(8、8'),

- 通过布置在该外围边缘(3u)处的一个或多个发射器(7),沿着通过该间隙(3)伸展的信号路径以电磁波的形式发出信号(9),

- 通过布置在该外围边缘(3u)处的一个或多个接收器(8、8')来接收所述信号(9),所述接收器(8、8')用于接收信号路径的由所述一个或多个发射器(9)通过该间隙(3)发送的且能在结合之前及/或在该结合期间改变的所述信号(9)。

11.一种用于结合两个基板(2、4)的方法,其中,利用根据上一权利要求所述的方法,确定结合波的走向。

12.根据上一权利要求所述的方法,其中,取决于所述结合波的所述走向而影响所述结合波。

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