[发明专利]用于监管能量束的扫描的方法和系统

权利要求书

1.一种用于监管能量束的扫描的方法，包括：

提供设备（2），所述设备（2）被配置以提供所述能量束；

提供扫描器（4），所述扫描器（4）被配置以扫描所述能量束，所述扫描器（4）包括第一反射镜和第二反射镜；以及

操作（106）所述设备（2）和所述扫描器（4），以提供所述能量束，同时根据预定扫描图案（10）扫描所述能量束；

其特征在于，所述方法还包括：

在操作所述设备（2）和所述扫描器（4）两者的同时，由计算装置或系统的至少一个处理器通过处理由所述第一反射镜和所述第二反射镜的编码器所提供的测量值来确定所述能量束的实际扫描图案；

由所述至少一个处理器比较（110）所述实际扫描图案与预定阈值区域（30-33, 35）；以及

由所述至少一个处理器基于所述比较（110）来确定所述能量束的所述扫描是否异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述预定阈值区域（35）或所述预定阈值区域（35）的大部分不包括预期扫描图案；并且确定所述能量束的所述扫描是否异常包括：当所述实际扫描图案的至少一部分位于所述预定阈值区域（35）之外时，确定所述扫描是异常的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述预定阈值区域（30-33）包括预期扫描图案；并且确定所述能量束的所述扫描是否异常包括：当所述实际扫描图案的至少一部分位于所述预定阈值区域（30-33）之内时，确定所述扫描是异常的。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，还包括：当确定所述能量束的所述扫描是异常的时，指示（114）被所述设备（2）加工的物体没有被正确地加工；和/或当确定所述能量束的所述扫描是异常的时，停止（116）所述设备（2）。

5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一反射镜和所述第二反射镜的所述编码器以等于或大于10 kHz的频率提供所述测量值。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扫描器（4）被操作以使得第一方向上的最大角覆盖范围和第二方向上的最大角覆盖范围中的每一个大于0°并且小于或等于20°，所述第一方向垂直于所述第二方向。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，每一个最大角覆盖范围等于或者小于5°。

8.根据权利要求6-7中任一项所述的方法，其中，每一个最大角覆盖范围等于或者小于1°。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括：

获得指示不同于所述预定扫描图案的所述实际扫描图案的数据；

基于指示所述实际扫描图案的所述数据来修改所述预定扫描图案。

10.一种用于监管能量束的扫描的系统，包括：

设备（2），其被配置以提供所述能量束；

扫描器（4），其被配置以扫描所述能量束，所述扫描器（4）包括第一反射镜和第二反射镜，每一个反射镜包括至少一个编码器，所述设备（2）和所述扫描器（4）被配置以提供所述能量束同时根据预定扫描图案（10）扫描所述能量束；以及

计算装置或系统，其包括至少一个处理器，

其特征在于：

所述至少一个处理器被配置以：

在操作所述设备（2）和所述扫描器（4）两者时，通过处理由所述第一反射镜和所述第二反射镜的所述编码器所提供的测量值来确定所述能量束的实际扫描图案；

将所述实际扫描图案与预定阈值区域（30-33, 35）进行比较（110）；以及

基于所述比较（110）确定所述能量束的所述扫描是否异常。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述预定阈值区域（35）或所述预定阈值区域（35）的大部分不包括预期扫描图案；并且其中所述至少一个处理器被配置以：通过确定当所述实际扫描图案的至少一部分位于所述预定阈值区域（35）之外时所述扫描是异常的，来确定所述能量束的所述扫描是否异常。