[发明专利]用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源，以及操作等离子体源的方法

说明书

本发明涉及一种用于产生非热等离子体的电极装置，该电极装置具有：第一电极和第二电极，其中第一电极和第二电极彼此电绝缘并且通过介电元件彼此间隔开，其特征在于，第二电极具有化学镍金(ENIG)涂层，或化学镀镍钯浸金(ENEPIG)涂层，或化学镀镍浸钯浸金(ENIPIG)涂层，或化学镀钯(EP)涂层，或化学钯金(EPIG)涂层，和/或介电元件由玻璃纤维增强型碳氢陶瓷制成。

技术领域

本发明涉及用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源，以及操作等离子体源的方法。

背景技术

用于产生非热等离子体的电极装置通常具有第一电极和第二电极，其中电极是电绝缘的并且尤其是通过介电元件彼此隔开。这种电极装置或由这种电极装置产生的非热等离子体的典型用途见于消毒或灭菌、表面功能化以及医学领域，特别是伤口消毒、伤口处理和愈合、治疗皮肤刺激，以及治疗细菌性、病毒性和真菌性皮肤病等领域。另一种可能的应用是更新纺织品和/或服装，而不是洗涤它们或作为洗涤它们的附加。

可以使用不同的方法来更新纺织品和/或服装。

一种可能性是掩盖恶臭(通过合适的更好的气味或香水)，但这并不能去除气味分子或恶臭的来源。

去除恶臭的来源(例如细菌)，但这不会去除现有的气味分子，而是停止添加新的恶臭(前提是所有细菌都被永久灭活)。由于细菌在优选区域(例如腋窝)中的数量通常在5分钟内翻倍，因此仅在1小时后就会补充3数量级减少至千分之一(1/1000)，因此必须频繁地重复抗菌方法。

通过化学作用破坏恶臭分子，特别是使用臭氧，但由于其毒性，在对恶臭分子进行化学氧化后，必须将其从空气中再次过滤掉。此外，反应很慢，需要很长的相互作用时间(臭氧分子的热运动速度仅为每秒大约200米)。

通过洗涤去除恶臭分子和来源，其中这是一个标准过程，部分是机械的，部分是化学的。这在许多情况下都很有效，但它需要时间、成本高、碳足迹高(能源)，并且通常需要使用洗衣机——这并不总是可行的(例如在旅行中)。另一个问题是并非所有纺织品或服装都可以洗涤，因为它们在洗涤过程中会变质甚至损坏。此外，低于40℃的洗涤不会去除恶臭源(细菌)，甚至可能会促进它们的生长。

对于通过干洗去除恶臭，与洗涤适用的论点基本相同。此外，干洗剂，特别是化学剂，也可能对一些纺织品和/或服装产生负面影响。

传统的电极装置只能在相对较高的电压振幅下有效运行，因此，出于电气安全的原因，很难将它们移到离待处理表面足够近的位置，例如人体皮肤。此外，传统的电极装置被设计得比较大并且特别是刚性的，这阻碍了具有这种电极装置的设备的小型化以及电极装置的几何灵活使用。

发明内容

本发明的目的是创造一种电极装置，以及一种用于产生非热等离子体的等离子体源和一种用于操作等离子体源的方法，其中不会出现上述缺点。

通过创建独立权利要求的主题来实现该目的。有利的实施例将从从属权利要求中变得明显。

特别是通过创建用于产生非热等离子体，特别是用于表面、多孔材料和织物的更新的电极装置来实现该目的，具有第一电极和第二电极，其中第一电极和第二电极彼此电绝缘并通过介电元件彼此隔开，其特征在于，第二电极具有化学镍金(ENIG)涂层，或化学镀镍钯浸金(ENEPIG)涂层，或化学镀镍浸钯浸金(ENIPIG)涂层，或化学镀钯(EP)涂层，或化学钯金(EPIG)涂层，和/或介电元件由玻璃纤维增强型碳氢陶瓷制成。特别优选的是，第二电极可以与待处理的表面、多孔材料和织物以及非热等离子体接触。因此，可以获得的优点是，电极装置允许在室温和大气压下产生大量等离子体，峰间电压小于5kV。并且，电极装置具有不变色的低磨损电极材料(面向待处理的纺织品和/或衣服的表面)。此外，如果经处理的表面是多孔的或纤维状的(例如纺织品或衣服)，则提供了一种允许电子与处理过的表面直接接触并穿透经处理的表面的电极装置。

电极装置特别地被配置用于产生表面微放电。