[发明专利]激光加工中对激光强度的依赖性的判定方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种方法，判定激光加工中对激光强度的依赖性，其特征在于，具备：

获取工件的加工位置的表示所述激光加工的加工状态的加工状态信息的步骤；

获取所述加工位置的表示激光的强度分布的强度分布信息的步骤；

基于所述加工状态信息和所述强度分布信息，判定所述工件在激光加工中对所述激光强度的依赖性的步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述加工状态信息及所述强度分布信息的一方或双方为用于表示所述工件的加工位置的n维方向上的信息，

在此，n为2以上的整数。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，

所述工件的加工状态为所述工件的形状因加工而变化的状态。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，

所述工件的加工状态为所述工件的物性因加工而变化的状态。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，其中，

还具备使所述加工状态信息中的加工位置和所述强度分布信息中的加工位置对齐的步骤，

所述判定基于对齐了所述加工位置的状态下的所述加工状态信息和所述强度分布信息的重合而进行。

6.一种激光加工装置，其特征在于，具备：

光源，其用于对工件照射激光而进行激光加工；

加工状态获取部，其获取所述工件的加工位置的表示所述激光加工的加工状态的加工状态信息；

强度分布获取部，其获取所述加工位置的表示所述激光的强度分布的强度分布信息；

判定部，其基于所述加工状态信息和所述强度分布信息，判定所述工件在所述激光加工中对激光强度的依赖性。

7.一种激光加工方法，使用权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，具备：

从所述光源对所述工件照射激光的步骤；

通过所述加工状态获取部获取所述工件的加工位置的表示加工状态的加工状态信息的步骤；

通过所述强度分布获取部获取表示所述加工位置的激光的强度分布的强度分布信息的步骤；

通过所述判定部，基于所述加工状态信息和所述强度分布信息，判定所述工件在激光加工中对激光强度的依赖性，根据该判定的结果调整加工状态，由此得到被激光加工的工件的步骤。

8.一种工件，其通过权利要求7所述的激光加工方法进行激光加工而得到。