[发明专利]与真空泵送和/或减排系统的控制器相关的方法

说明书

一种将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统（2）的控制器（28）的方法，该方法包括：由模块化真空泵送和/或减排系统的第一控制器（22）确定第一标识符将被分配给模块化真空泵送和/或减排系统的第二控制器（28），其中，第二控制器位于模块化真空泵送和/或减排系统的模块（10）处；由第一控制器向第二控制器发送指示第一标识符的第一信号；通过耦合到模块的用户输入设备（32）接收用户输入；以及由第二控制器响应于用户输入而采用第一标识符作为其标识符。

技术领域

本发明涉及真空泵送和/或减排（abatement）系统的控制器。

背景技术

真空泵送和/或减排系统被用于各种不同的技术领域，例如半导体制造。通常，在所述系统中，使用真空泵送装备将气体（例如，来自工业过程的气体）泵送出特定位置，并且使用减排装备减排（例如，消灭或处置）已经产生的不期望的物质（例如，废气）。

取决于所涉及的过程，对于真空泵送和减排可能会存在不同的标准。例如，通常期望将不同的真空泵送装备和不同的减排装备用于涉及不同过程气体、不同气体压力和不同气体流的不同过程。而且，通常期望使用不同的减排装备来消灭或处置不同的不期望物质。

真空泵送和/或减排系统通常会根据它们将被使用的特定过程来定制设计。然而，设计、制造和安装这种定制系统所花费的时间量通常较长，因为不同的过程需要不同的真空泵送和减排系统解决方案。

除了真空泵送和/或减排装备之外，真空泵送和/或减排系统通常还包括用于控制系统操作的电子控制器。

发明内容

根据本发明的第一方面，提供了一种将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统的控制器的方法，所述方法包括：由所述模块化真空泵送和/或减排系统的第一控制器确定第一标识符将被分配给所述模块化真空泵送和/或减排系统的第二控制器，其中，所述第二控制器位于所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块处；由所述第一控制器向所述第二控制器发送指示所述第一标识符的第一信号；通过耦合到所述模块的用户输入设备来接收用户输入；以及响应于所述用户输入，由所述第二控制器采用所述第一标识符作为其标识符。

该方法还可以包括：响应于确定所述第一标识符将被分配给所述第二控制器，通过用户界面显示所述第二控制器将被分配所述第一标识符的指示。

该方法还可以包括由所述第二控制器向所述第一控制器发送所述第二控制器已经采用所述第一标识符作为其标识符的确认。

该方法还可以包括由所述第一控制器确定存在经由连接而连接到所述第二控制器的第三控制器；由所述第一控制器向所述第二控制器和所述第三控制器发送指示第二标识符的第二信号，其中，所述第二信号还指示所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接；由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接向所述第三控制器发送信号；以及响应于经由所述连接而发送的所述信号，由所述第三控制器采用所述第二标识符作为其标识符。

该方法还可以包括由所述第三控制器向所述第一控制器发送所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的确认。

该方法还可以包括：响应于所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的所述确认，由所述第一控制器向所述第二控制器和另外的第三控制器发送指示另外的第二标识符的另外的第二信号，其中，所述另外的第二信号指示所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的连接；由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接向所述另外的第三控制器发送另外的信号；以及响应于经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接而发送的所述另外的信号，由所述另外的第三控制器采用所述另外的第二标识符作为其标识符。

该方法可以还包括由所述另外的第三控制器向所述第一控制器发送所述另外的第三控制器已经采用所述另外的第二标识符作为其标识符的另外的确认。