[发明专利]装载端口模块

权利要求书

1.一种衬底装载装置，其包括：

框架，其适于将所述衬底装载装置连接到衬底处理设备，所述框架具有运输开口，所述衬底通过所述运输开口在所述衬底装载装置和处理设备之间运输；

盒支撑件，其连接到所述框架以用于将至少一个衬底盒容器保持靠近所述运输开口，所述盒支撑件被构造成使得所述至少一个衬底盒容器的密封的内部气氛在所述至少一个衬底盒容器的预定的出入位置处从所述盒支撑件出入；并且

所述盒支撑件具有设置在所述盒支撑件上的预定的连续稳态压差增压室区域，所述预定的连续稳态压差增压室区域至少部分地由产生压差的流体流的边界确定，使得所述预定的连续稳态压差增压室区域限定连续稳态流体流隔离屏障，所述连续稳态流体流隔离屏障在所述至少一个衬底盒容器的所述预定的出入位置和所述盒支撑件的将其他预定区段与所述预定的出入位置隔离的另一个预定区段之间设置在所述载体支撑件上。

2.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述连续稳态流体流隔离屏障的所述流体流的流体边缘将所述其他预定区段密封而与所述预定的出入位置隔绝。

3.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述连续稳态流体流隔离屏障的所述流体流的流体边缘密封所述其他预定区段，以防排气气体在所述预定的出入位置处从所述至少一个衬底盒容器的所述密封的内部气氛逸出。

4.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述压差相对于气氛是正压力。

5.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述压差相对于在所述预定的出入位置处来自所述至少一个衬底盒容器的所述密封的内部气氛的逸出气体的压力是正压力。

6.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述压差相对于气氛是负压力。

7.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述压差相对于在所述预定的出入位置处来自所述至少一个衬底盒容器的所述密封的内部气氛的逸出气体的压力是负压力。

8.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述预定的连续稳态压差增压室区域至少在一侧上由所述盒支撑件的表面界定，所述表面至少部分地限定所述预定的连续稳态压差增压室区域。

9.根据权利要求8所述的衬底装载装置，其中，所述表面是用于所述预定的连续稳态压差增压室区域的产生所述压差的所述流体流的引导表面。

10.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，产生所述连续稳态压差增压室区域的所述连续稳态流体流隔离屏障，以提供从所述盒支撑件的通过所述连续稳态流体流隔离屏障被隔离的所述其他预定区段的预定偏移，并且所述预定偏移由所述连续稳态压差增压室区域的产生所述压差的所述流体流设定。

11.根据权利要求1所述的衬底装载装置，其中，所述衬底装载装置包括控制器，所述控制器取决于所述至少一个衬底盒容器的构型来控制所述预定的连续稳态压差增压室区域。

12.一种衬底装载装置，其包括：

框架，其适于将所述装置连接到衬底处理设备，所述框架具有运输开口，衬底通过所述运输开口在所述装置和处理设备之间运输；

盒支撑件，其连接到所述框架以用于将至少一个衬底盒容器保持靠近所述运输开口，所述支撑件被构造成使得所述容器的密封的内部气氛在所述容器的预定的出入位置处从所述支撑件出入；并且

所述盒支撑件具有设置在所述支撑件上的预定的连续稳态流体质量流增压室区域，所述预定的连续稳态流体质量流增压室区域至少部分地由流体质量流的边界确定，使得所述连续稳态流体质量流增压室区域限定流体流的连续稳态隔离屏障，所述流体流的连续稳态隔离屏障在所述容器的所述预定的出入位置和所述盒支撑件的将其他预定区段与所述预定的出入位置隔离的另一个预定区段之间设置在所述支撑件上。