[发明专利]光谱仪系统和用于测试光谱仪系统的方法在审
申请号: | 201980090942.4 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN113366288A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 费利克斯·克斯坦;于尔根·格贝尔 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司光谱学有限公司 |
主分类号: | G01J1/08 | 分类号: | G01J1/08;G01J3/02;G01J3/42;G01N21/27 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 潘小军;杨靖 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光谱仪 系统 用于 测试 方法 | ||
1.用于测试光谱仪系统的方法,其中,所述光谱仪系统包括设有窗的壳体,在壳体中布置有照明源、光谱仪和用于内部重新校准的至少一个标准件,并且其中,所述方法包括以下步骤:
-在校准所述光谱仪系统之后在使用所述标准件的情况下以所述光谱仪拾取参考光谱,在所述参考光谱中识别在壳体中存在的填充气体的独特的吸收带,其中,分别测量表征各自的识别出的独特的吸收带的波长,从而得到针对识别出的独特的吸收带的波长的测量值;
-在使用所述标准件的情况下以所述光谱仪拾取测试光谱;
-在所述测试光谱中识别所述填充气体的独特的吸收带,其中,分别测量表征各自的识别出的独特的吸收带的波长,从而得到针对识别出的独特的吸收带的波长的测量值;并且
-测试:所述填充气体的在测试光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值与所述填充气体的在参考光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值是否相差不超过预先确定的尺度。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述填充气体包括水蒸气形式的游离水,从而在所述参考光谱中并且在所述测试光谱中识别水蒸气的独特的吸收带。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,填充气体中的空气湿度是至少10%。
4.根据权利要求2或3所述的方法,其特征在于,在所述参考光谱中和所述测试光谱中识别水蒸气的至少一个在1300nm和2050nm之间的波长范围内的独特的吸收带。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,所述标准件通过用于重新校准所述光谱仪系统的物理参考物形成,其中,所述标准件是具有参考光谱的波长标准件。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,所述标准件构造为强度标准件。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法,其特征在于,所述标准件通过白色参考物形成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法,其特征在于,为了拾取所述参考光谱及为了拾取所述测试光谱,使布置在壳体中的标准件分别枢转进入到从光谱仪延伸到窗的光路中。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,在壳体中布置有其中两个用于内部重新校准的标准件,这两个标准件是白色标准件和黑色标准件,使所述白色标准件和黑色标准件有选择地机械枢转进入到从光谱仪延伸到窗的光路中。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法,其特征在于,通过3点插值确定所述填充气体的在测试光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值和所述填充气体的在参考光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法,其特征在于,以在波长范围内的最高为0.1nm的分辨率处理所述测试光谱和所述参考光谱。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法包括以下另外的步骤:
-以所述光谱仪拾取样品的光谱;
-在所拾取的光谱中识别所述样品的独特的吸收带;
-分别测量表征各自的识别出的独特的吸收带的波长,由此得到所述样品的测量值;并且
-如果所述填充气体的在测试光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值与所述填充气体的在参考光谱中识别出的独特的吸收带的波长的测量值相差超过预先确定的尺度,那么输出所述样品的测量值具有不准确度的讯息。
13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,在数字式测量值显示或图形式测量值显示中输出所述讯息作为测量值的标记。
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