[发明专利]质量分析装置以及质量分析方法

说明书

本发明涉及一种质量分析装置，具备在内部配置有离子化部、质量分离部与检测部的真空容器，该质量分析装置具备：开闭部，设置于真空容器，利用真空容器的内部与外部的压力差来切换以关闭状态锁定的状态与锁定解除的状态；冷却用气体导入部，将用于冷却离子化部的冷却用气体导入真空容器，从而保持开闭部的锁定的状态。

技术领域

本发明涉及一种质量分析装置以及质量分析方法。

背景技术

在由气相色谱-质量分析仪(GC-MS)等质量分析装置进行的分析中，使用被加热至140℃～350℃等的高温的离子源在真空下进行离子化。通过在离子源的容许压力以下的真空下进行加热使离子源保持在上述高温，从而即使在分析结束后沸点高于室温的高沸点化合物等也不会附着于离子源。

在维护这样的质量分析装置时，需要在大气压下开放离子源。此时，如果未在充分降低离子源的温度后再将离子源在大气压下开放，则会产生上述这样的化合物的附着，导致离子源受到污染。在专利文献1中记载有通过将载气导入离子源来冷却离子源的GC-MS。在该GC-MS中，在离子源的温度达到规定的温度的情况下，通过打开构成开闭切换部的电磁阀，从而使真空腔向大气开放。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/051554号

发明内容

发明要解决的技术问题

在离子源等离子化部的冷却中，若设置于在内部具有离子化部的真空容器的门等开闭部被打开，则有可能使离子化部受到污染等不良影响。

用于解决上述技术问题的方案

本发明的第1方案涉及一种质量分析装置，具备在内部配置有离子化部、质量分离部与检测部的真空容器，所述离子化部将由分离部分离出的试样离子化来生成离子，所述质量分离部对由所述离子化部生成的所述离子进行质量分离，所述检测部检测通过在所述质量分离部的质量分离得到的离子，该质量分析装置具备：开闭部，设置于所述真空容器，利用所述真空容器的内部与外部的压力差来切换以关闭状态锁定的状态与锁定解除的状态；冷却用气体导入部，将用于冷却所述离子化部的冷却用气体导入所述真空容器，从而保持所述开闭部的所述锁定的状态。

本发明的第2方案涉及一种质量分析装置，具备在内部配置有离子化部、质量分离部与检测部的真空容器，所述离子化部将由分离部分离出的试样离子化来生成离子，所述质量分离部对由所述离子化部生成的所述离子进行质量分离，所述检测部检测通过在所述质量分离部的质量分离得到的离子，该质量分析装置具备：开闭部，设置于所述真空容器；冷却用气体导入部，将用于冷却所述离子化部的冷却用气体导入所述真空容器；判定部，在将所述冷却用气体导入所述真空容器之后，判定所述离子化部的冷却结束；切换部，若所述判定部的判定结果为判定冷却结束，则将所述开闭部从以关闭状态锁定的状态切换为锁定解除的状态。

本发明的第3方案涉及一种质量分析方法，是具备在内部配置有离子化部、质量分离部与检测部的真空容器的质量分析装置的质量分析方法，所述离子化部将由分离部分离出的试样离子化来生成离子，所述质量分离部对由所述离子化部生成的所述离子进行质量分离，所述检测部检测通过在所述质量分离部的质量分离得到的离子，所述真空容器具备开闭部，利用所述真空容器的内部与外部的压力差来切换以关闭状态锁定的状态与锁定解除的状态，所述质量分析方法具备：将用于冷却所述离子化部的冷却用气体导入所述真空容器，从而保持所述开闭部的所述锁定的状态。