[发明专利]气体检查装置中的气体供给部的清洗方法在审
| 申请号： | 201980092902.3 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113474632A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 桥本红良 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N1/00 | 分类号： | G01N1/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 检查 装置 中的 供给 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体检查装置中的气体供给部的清洗方法，对用于从供给口经由供给路向检查部供给试样气体的气体供给部进行清洗，其中，
封闭所述供给口，并且对所述供给路进行减压。
2.根据权利要求1所述的气体检查装置中的气体供给部的清洗方法，其中，
在对所述供给口连接了在内部封入有干净的气体的袋状体之后，将所述供给路减压固定时间。
3.根据权利要求2所述的气体检查装置中的气体供给部的清洗方法，其中，
在所述袋状体的内部封入的气体是氮气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980092902.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
