[发明专利]X射线产生装置以及该X射线产生装置的诊断装置及诊断方法

权利要求书

1.一种X射线产生装置，

具备X射线管，该X射线管具有：阴极及阳极，所述阴极及阳极被密闭于真空外壳的内部；以及集离子导体，其以与所述真空外壳的内部空间接触的方式安装于所述真空外壳，

所述阴极具有释放电子的电子源，

所述阳极与所述阴极相向地配置，所述阳极构成为通过入射从所述电子源释放出的电子而放射X射线，

所述X射线产生装置具备：

第一直流电源，其对所述电子源施加成为所述电子的释放能量的第一直流电压；

第二直流电源，其对所述阴极与所述阳极之间施加第二直流电压，所述第二直流电压用于产生以所述阳极为高电位侧的电场；

第一电流传感器，其测定在所述集离子导体与节点之间流动的第一电流值，所述节点供给用于吸引所述真空外壳内的阳离子的电位；

第二电流传感器，其测定在所述阳极与所述阴极之间流动的第二电流值；以及

控制电路，其基于所述第二电流值与所述第一电流值的电流比，来生成与所述X射线管的真空度相关的诊断信息，所述第二电流值是在施加了所述第一直流电压及所述第二直流电压的状态下由所述第二电流传感器测定出的电流值，所述第一电流值是在施加了所述第一直流电压及所述第二直流电压的状态下由所述第一电流传感器测定出的电流值。

2.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其中，

所述控制电路具有存储部，所述存储部保存预先决定的所述X射线管的表示所述电流比与所述真空外壳的内部的压力之间的对应关系的信息，

所述诊断信息是利用压力估计值来生成的，所述压力估计值是使用基于所述第一电流传感器及所述第二电流传感器的测定值的所述电流比与所述对应关系来计算出的。

3.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其中，

所述X射线管还具有：

X射线照射窗，其配置于所述真空外壳的开口部，由具有气密性并且使所述X射线透过的材料形成；以及

固定构件，其维持所述真空外壳的密封性，将所述X射线照射窗固定保持于所述真空外壳，

所述集离子导体由所述固定构件构成。

4.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其中，

所述X射线产生装置的动作模式具有：

输出所述X射线的第一模式；以及

通过生成所述诊断信息来进行与所述真空度相关的诊断的第二模式，

所述第二模式下的所述第二直流电压被控制为比所述第一模式下的所述第二直流电压低的电压。

5.一种X射线产生装置的诊断装置，所述X射线产生装置具备X射线管，所述X射线管具有：阳极及阴极，所述阳极及阴极被密闭于真空外壳的内部，所述阴极具有电子源；以及集离子导体，其以与所述真空外壳的内部空间接触的方式安装于所述真空外壳，

所述诊断装置具备：

电流传感器，其测定在所述集离子导体与节点之间流动的第一电流值，所述节点供给用于吸引所述真空外壳内的阳离子的电位；以及

控制电路，其在所述X射线产生装置中对所述电子源施加了成为电子的释放能量的第一直流电压、并且对所述阴极与所述阳极之间施加了用于产生以所述阳极为高电位侧的电场的第二直流电压的状态下，从所述X射线产生装置获取在所述X射线管的所述阳极与所述阴极之间流动的第二电流值的测定值，并且基于所获取的该第二电流值与由所述电流传感器测定出的所述第一电流值的电流比，来生成与所述X射线管的真空度相关的诊断信息。

6.一种X射线产生装置的诊断方法，所述X射线产生装置具备X射线管，所述X射线管具有：阳极及阴极，所述阳极及阴极被密闭于真空外壳的内部，所述阴极具有电子源；以及集离子导体，其以与所述真空外壳的内部空间接触的方式安装于所述真空外壳，

所述诊断方法包括以下步骤：

对所述电子源施加成为电子的释放能量的第一直流电压，并且对所述阴极与所述阳极之间施加第二直流电压，所述第二直流电压用于产生以所述阳极为高电位侧的电场；

测定施加了所述第一直流电压及所述第二直流电压的状态下的在所述集离子导体与节点之间流动的第一电流值，所述节点供给用于吸引所述真空外壳内的阳离子的电位；

测定施加了所述第一直流电压及所述第二直流电压的状态下的在所述X射线管的所述阳极与所述阴极之间流动的第二电流值；以及

基于测定出的所述第二电流值与测定出的所述第一电流值的电流比，来生成与所述X射线管的真空度相关的诊断信息。