[发明专利]蒸镀装置以及显示装置的制造方法

说明书

在蒸镀装置(600)所具备的触摸板(601)上设置有在将基板(120)与触摸板(601)分离时与基板(120)抵接的多个可动突起部(652)。

技术领域

本发明关于蒸镀装置以及显示装置的制造方法。

背景技术

专利文献1、2中公开了在蒸镀掩模和磁铁之间配置基板，通过磁铁的磁力，蒸镀掩模与基板紧密接触的蒸镀装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本国专利公报“专利第6302150号(2018年03月28日发行)”

专利文献2:日本国再公开专利(A1)“国际公开号W02017/154234(2017年09月14日国际公开)”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

然而，在如上所述的现有的蒸镀装置中，基板在接受蒸镀处理后，从蒸镀掩模和触摸板分离，从蒸镀装置搬出。

但是，在如上所述的现有的蒸镀装置中，在从触摸板分离基板时，基板与触摸板有时相互紧密接触而不分离。因此，在现有的蒸镀装置中，在使从蒸镀掩模紧密接触的基板及触摸板离开该蒸镀掩模的上方后，基板因其自重有时会从触摸板上分离，基板与蒸镀掩模接触，有时在基板上产生裂纹。其结果是，在现有的蒸镀装置中，存在显示装置的制造成品率降低的问题。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，实现能够防止显示装置的制造成品率降低的蒸镀装置和显示装置的制造方法。

解决问题的方案

本发明一个实施方式的蒸镀装置构成为包括:蒸镀源；具有掩模板和掩模框架的蒸镀掩模；用于使所述掩模片材与基板紧贴的磁体；配置在所述基板与所述磁体之间的触摸板；相对于所述蒸镀掩模使所述基板升降的升降装置；和进行所述蒸镀掩模与所述基板的对准的对准装置，其中，在所述触摸板上设置有在分离所述基板和该触摸板时与所述基板抵接的多个凸部。

本发明的一实施方式的显示装置的制造方法为具有基板的显示装置的制造方法，该方法具备使用蒸镀掩模对所述基板进行蒸镀处理的蒸镀工序，所述蒸镀工序包括:第一工序，通过相对于所述基板设置于所述蒸镀掩模的相反侧的触摸板，将所述基板向所述蒸镀掩模侧按压；成膜工序，对所述基板实施所述蒸镀处理，在该基板上形成蒸镀膜；以及第二工序，将所述触摸板从所述基板分离，在所述第二工序中，经由设置于所述触摸板的多个凸部，从所述基板分离所述触摸板。

发明效果

根据本发明的几个方式，能够实现能防止显示装置的制造成品率降低的蒸镀装置及显示装置的制造方法。

附图说明

图1是示出显示装置的制造方法的一个例子的流程图。

图2是示出显示装置的显示区域的构成的截面图。

图3是示出比较例的蒸镀装置的概略结构、沿着基板的长度方向的截面图。

图4是示出图3所示的比较例的蒸镀装置所具备的触摸板的基板侧表面的概略形状的放大侧视图。

图5是概略地示出图3所示的比较例的蒸镀装置中的蒸镀工序的流程图。

图6是概略地示出图5所示的蒸镀工序的一部分的、沿着基板的长度方向的截面图。

图7是概略地表示图5所示的蒸镀工序的一部分的、沿着基板的长度方向的另一截面图。

图8是概略地表示图5所示的蒸镀工序的一部分的、沿着基板的长度方向的另一截面图。

图9是概略地表示图5所示的蒸镀工序的一部分的、沿着基板的长度方向的另一截面图。