[发明专利]光调制器

说明书

本发明提供一种光调制器，在将多个马赫‑曾德尔型光波导集成化而得到的光调制器中，能够进行低电压驱动，抑制串扰现象的发生。其特征在于，在具有电光效应的基板(1)形成有光波导(10)和控制电极，该光波导具有并列地配置多个马赫‑曾德尔型光波导的结构，该控制电极具备GSSG型的差动电极结构，该GSSG型的差动电极结构是对于一个所述马赫‑曾德尔型光波导在2个接地电极(G)(G1与G2或G2与G3)之间配置有2个信号电极(S)(S1与S2或S3与S4)的结构，在被相邻的马赫‑曾德尔型光波导夹着的该接地电极(G2)，设置有用于抑制信号串扰的串扰抑制单元。

技术领域

本发明涉及调制器，尤其涉及具备GSSG型的差动电极结构的光调制器，该GSSG型的差动电极结构并列地配置多个马赫-曾德尔型光波导，对于一个马赫-曾德尔型光波导在2个接地电极G之间配置有2个信号电极S。

背景技术

近年来，对光调制器的高速化、小型化的需求不断提高。因此，正在研究用作为信号处理元件的DSP(Digital Signal Processor，数字信号处理器)的输出信号直接驱动调制器或在光调制器的壳体内内置信号放大用的驱动元件。

在DSP或驱动元件的输出中，为了抑制线路传输过程中的外部噪声等的影响或能够在低电压下进行动作，使用差动输出结构。迄今为止，在铌酸锂(LN)等具有电光效应的晶体(EO晶体)的光调制器中，使用专利文献1所示的GSGSG型的电极结构来进行使用差动信号的光调制，该GSGSG型的电极结构是对于一个马赫-曾德尔型光波导在2个信号电极S的两侧配置有接地电极G的结构。

作为施加差动信号的电极配置，如专利文献2所示，提出了在LN基板上形成1个马赫-曾德尔型光波导，在该马赫-曾德尔型光波导的各分支波导上配置信号电极并且在光波导的外侧与各信号电极接近地配置接地电极的所谓的GSSG型的电极结构。另外，在专利文献3中，提出了在半导体型相位调制器中利用差动的电信号的GSSG型的电极结构。

另一方面，在相干通信用调制器等中，使用将多个马赫-曾德尔型光波导配置成嵌套状的嵌套型光波导等将多个马赫-曾德尔型光波导集成化的光调制器。在以往的GSGSG型的电极结构中，电极的数量增多，线路的配置设计变得困难。

另外，在集成化的光调制器中，彼此的马赫-曾德尔型光波导的电极间的间隔变窄，容易发生相邻的光调制部中的调制信号的串扰现象。而且，随着调制速度的上升，串扰现象的发生变得更加显著，调制输出的品质劣化成为大的课题。

作为抑制串扰现象的方法，有效的是扩大相邻的光调制部的信号间隔，扩大信号电极间的接地电极宽度，但为了这些目的，也需要扩大光波导的间隔，分支部等的光波导的弯曲所需的长度变长，不仅光调制器自身的尺寸变大，而且由弯曲引起的光损失的增加也不能忽视。

假设，在为了减少电极的数量而采用GSSG型的电极结构的情况下，由于接地电极间的间隔比GSGSG型宽，所以电场容易漏出到相邻的调制部(作用部)，更容易发生串扰现象。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-56282号公报

专利文献2：日本特开平2-291518号公报

专利文献3：日本特开2017-142487号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明要解决的课题是提供解决上述的问题，在将多个马赫-曾德尔型光波导集成化而得到的光调制器中，能够进行低电压驱动且抑制串扰现象的发生的光调制器。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的光调制器具有以下的技术特征。