[发明专利]光波导元件

权利要求书

1.一种光波导元件，具备支承基板和层叠在所述支承基板上且由具有电光效应的材料构成的波导层，其特征在于，

用于形成光波导的脊部突出设置于所述波导层的上表面，

在所述脊部的一部分的正下方，在所述支承基板的上表面形成有槽部，

在所述槽部填充有具有与所述波导层的材料相同程度的有效折射率的材料。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

所述槽部的截面积沿着所述脊部的延伸方向连续变化。

3.根据权利要求2所述的光波导元件，其特征在于，

所述槽部的截面积相对于在所述光波导中传播的光波的传播方向连续减小地变化。

4.根据权利要求2所述的光波导元件，其特征在于，

所述槽部的截面积相对于在所述光波导中传播的光波的传播方向连续增大地变化。

5.根据权利要求3或4所述的光波导元件，其特征在于，

所述槽部的宽度方向的尺寸相对于在所述光波导中传播的光波的传播方向连续变化。

6.根据权利要求3或4所述的光波导元件，其特征在于，

所述槽部的高度方向的尺寸相对于在所述光波导中传播的光波的传播方向连续变化。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

在所述光波导元件与向所述光波导导入所述光波的输入侧光纤耦合的耦合部、及所述光波导元件与从所述光波导导出所述光波的输出侧光纤耦合的耦合部处，所述槽部的宽度方向的尺寸与所述脊部的宽度方向的尺寸大致相同，从所述脊部的上表面至所述槽部的底面为止的高度方向的尺寸与所述脊部的宽度方向的尺寸大致相同。

8.根据权利要求7所述的光波导元件，其特征在于，

所述光波导元件具有对在所述光波导中传播的所述光波进行调制的调制部，

在从所述光波导元件与所述输入侧光纤耦合的耦合部至所述调制部为止的光波导的一部分，所述槽部的截面积连续减小地变化，

在从所述调制部至所述光波导元件与所述输出侧光纤耦合的耦合部为止的光波导中，所述槽部的截面积连续增大地变化。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

所述脊部的高度方向的尺寸比所述槽部的高度方向的尺寸的一半大且比所述槽部的高度方向的尺寸的2倍小。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

所述脊部的宽度方向的尺寸比从所述脊部的上表面至所述槽部的底面为止的高度方向的尺寸的一半大且比从所述脊部的上表面至所述槽部的底面为止的高度方向的尺寸的2倍小。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

所述波导层的材料为铌酸锂，

占据所述槽部的材料为铌酸锂、具有与铌酸锂相同程度的有效折射率的氮化硅、调整成与铌酸锂相同程度的有效折射率的树脂中的任一个。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

在所述支承基板上粘贴有所述波导层。