[发明专利]测量装置以及测量方法在审
申请号: | 201980097689.5 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN114008406A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 佐佐木勇贵;中村贤司;水野航 | 申请(专利权)人: | 大塚电子株式会社 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 向勇;宋晓宝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 装置 以及 测量方法 | ||
1.一种测量装置,用于测量测量对象物的形状,其中,
具有:
光源部;
受光部;以及
主体部,包括:透光部,射出线状光;投光光路,其为从所述光源部到所述透光部的光路;以及受光光路,其为从所述透光部到所述受光部的光路。
2.根据权利要求1所述的测量装置,其中,
所述测量装置还具有:
投光镜,设置于所述投光光路;以及
受光镜,设置于所述受光光路,
所述投光镜对从所述光源部接收的光进行反射而通过所述透光部向所述测量对象物照射,
所述受光镜对通过所述透光部由所述测量对象物接收的光的至少一部分进行反射而向所述受光部照射。
3.根据权利要求2所述的测量装置,其中,
所述测量装置还具有半反射镜,所述半反射镜设置于所述投光光路中的、所述光源部与所述投光镜之间的位置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的测量装置,其中,
所述测量装置还具有解析部,所述解析部基于所述受光部的受光结果对所述测量对象物的形状进行解析,
所述解析部还基于所述受光部的受光结果生成图像,并基于生成的图像的解析结果,来检测所述测量对象物以外的物体。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的测量装置,其中,
所述测量装置还具有调整机构,所述调整机构能够对光从所述投光光路向所述透光部的入射角度进行调整。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的测量装置,其中,
所述透光部是开口部,
所述主体部还包括透明构件,所述透明构件对所述开口部进行关闭,
所述透明构件相对于所述开口部设置在与所述测量对象物相反的一侧。
7.一种测量方法,其是具有具有透光部、投光光路以及受光光路的主体部,用于测量测量对象物的形状的测量装置的测量方法,其中,
所述测量方法包括以下步骤:
将入射到所述投光光路的线状光或者在所述投光光路中生成的线状光通过所述透光部向所述测量对象物照射;
使来自所述测量对象物的反射光通过所述透光部以及所述受光光路而接收。
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