[发明专利]进行调谐以改善等离子稳定性的方法在审
| 申请号： | 201980099804.2 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN114503238A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 邵寿潜;周建华;袁泰京 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/02;H01L21/67;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进行 调谐 改善 等离子 稳定性 方法 | ||
1.一种在等离子体处理工艺期间进行调谐的方法，包括：
由控制器从多个匹配网络中的每个匹配网络接收调谐参数信息，其中所述多个匹配网络中的每个匹配网络将射频(RF)电源耦接到电极的多个连接点中的一个连接点；
基于由所述控制器接收到的所述调谐参数信息，确定用于所述多个匹配网络的调谐顺序；以及
调谐所述多个匹配网络中的一个匹配网络，而同时地锁定所述多个匹配网络的每个剩余匹配网络。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述调谐参数信息包括：用于阻抗调谐的电压信息、电流信息和相角信息。
3.如权利要求1所述的方法，其中所述调谐参数信息包括：用于频率调谐的频率信息。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述多个连接点包括四个连接点，并且所述多个匹配网络包括四个匹配网络。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述电极是喷头。
6.一种在等离子体处理工艺期间进行调谐的方法，包括：
由控制器从多个匹配网络接收物理几何信息，其中所述多个匹配网络中的每个匹配网络将射频(RF)电源耦接到电极的多个连接点中的一个连接点；
基于由所述控制器接收到的所述物理几何信息，确定用于所述多个匹配网络的调谐顺序；以及
将所述多个匹配网络中的一对匹配网络一起进行调谐，而同时地锁定所述多个匹配网络的每个剩余匹配网络。
7.如权利要求6所述的方法，其中所述物理几何信息包括：与所述多个连接点中的每一个连接点相对于彼此的定位相关的信息。
8.如权利要求7所述的方法，其中所述多个连接点包括四个连接点，并且所述多个匹配网络包括四个匹配网络。
9.如权利要求8所述的方法，其中首先调谐所述四个匹配网络中具有一对彼此对角地间隔的连接点的一对匹配网络。
10.如权利要求8所述的方法，其中首先调谐所述四个匹配网络中具有一对彼此在X方向上间隔的连接点的一对匹配网络。
11.如权利要求8所述的方法，其中首先调谐所述四个匹配网络中具有一对彼此在Y方向上间隔的连接点的一对匹配网络。
12.一种在等离子体处理工艺期间进行调谐的方法，包括：
由控制器从多个匹配网络中的每个匹配网络接收调谐参数信息和物理几何信息，其中所述多个匹配网络中的每个匹配网络将射频(RF)电源耦接到电极的多个连接点中的一个连接点；
基于由所述控制器接收到的所述物理几何信息和所述调谐参数信息，确定用于所述多个匹配网络的调谐顺序；以及
将所述多个匹配网络中的一对匹配网络一起进行调谐，而同时地锁定所述多个匹配网络的每个剩余匹配网络。
13.如权利要求12所述的方法，其中所述调谐参数信息包括：用于阻抗调谐的电压信息、电流信息和相角信息。
14.如权利要求12所述的方法，其中所述调谐参数信息包括：用于频率调谐的频率信息。
15.如权利要求12所述的方法，其中所述物理几何信息包括：与所述多个连接点中的每一个连接点相对于彼此的定位相关的信息。
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