[发明专利]经切割的封装组件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201980102633.4 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN114730743A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: G·米滕多佛;P·F·林德纳 申请(专利权)人: EV集团E·索尔纳有限责任公司
主分类号: H01L23/08 分类号: H01L23/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张华;梅黎
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 切割 封装 组件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.用于制造经切割的封装组件(6、7)的方法,该方法具有以下步骤:

- 在基板(1)的基板表面(1o)上施加框架结构(4、4’、4’’、4’’’),其中所述框架结构(4、4’、4’’、4’’’)包围布置在所述基板表面(1o)上的结构单元(2、2’),

- 将封盖基板(5)键合在框架结构(4、4’、4’’、4’’’)上,

- 使框架结构 (4、4’、4’’、4’’’)硬化,

- 切割封装组件(6、7),

- 其特征在于,框架结构(4、4’、4’’、4’’’)由粘合剂形成。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述粘合剂是有机硅粘合剂。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中处理经切割的封装组件(6、7),从而产生玻璃样结构,特别是SiO2结构。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中用等离子体和/或气体处理经切割的封装组件(6、7)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中框架结构(4、4’、4’’、4’’’)的硬化在将封盖基板(5)键合在框架结构(4、4’、4’’、4’’’)上之前进行。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中通过喷墨方法、印刷方法、浇注、涂布、喷洒、挤出、喷涂、喷漆和/或涂漆来施加框架结构(4、4’、4’’、4’’’)的粘合剂。

7.用于制造经切割的封装组件(6、7)的系统,其中可实施根据前述权利要求中任一项所述的方法,该系统具有:

- 处理室(9、9’),其用于容纳经切割且封装的组件(6、7),

- 容纳设备(13、13’),其用于容纳经切割且封装的组件(6、7),

- 处理装置(15、16、17),其用于处理所述组件(6、7)的框架结构(4、4’、4’’、4’’’)。

8.经切割的封装组件(6、7),其用根据前述权利要求中任一项所述的方法和/或系统来制造。

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