[发明专利]经切割的封装组件及其制造方法在审
申请号: | 201980102633.4 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN114730743A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | G·米滕多佛;P·F·林德纳 | 申请(专利权)人: | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/08 | 分类号: | H01L23/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张华;梅黎 |
地址: | 奥地利圣*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 封装 组件 及其 制造 方法 | ||
1.用于制造经切割的封装组件(6、7)的方法,该方法具有以下步骤:
- 在基板(1)的基板表面(1o)上施加框架结构(4、4’、4’’、4’’’),其中所述框架结构(4、4’、4’’、4’’’)包围布置在所述基板表面(1o)上的结构单元(2、2’),
- 将封盖基板(5)键合在框架结构(4、4’、4’’、4’’’)上,
- 使框架结构 (4、4’、4’’、4’’’)硬化,
- 切割封装组件(6、7),
- 其特征在于,框架结构(4、4’、4’’、4’’’)由粘合剂形成。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述粘合剂是有机硅粘合剂。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中处理经切割的封装组件(6、7),从而产生玻璃样结构,特别是SiO2结构。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中用等离子体和/或气体处理经切割的封装组件(6、7)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中框架结构(4、4’、4’’、4’’’)的硬化在将封盖基板(5)键合在框架结构(4、4’、4’’、4’’’)上之前进行。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中通过喷墨方法、印刷方法、浇注、涂布、喷洒、挤出、喷涂、喷漆和/或涂漆来施加框架结构(4、4’、4’’、4’’’)的粘合剂。
7.用于制造经切割的封装组件(6、7)的系统,其中可实施根据前述权利要求中任一项所述的方法,该系统具有:
- 处理室(9、9’),其用于容纳经切割且封装的组件(6、7),
- 容纳设备(13、13’),其用于容纳经切割且封装的组件(6、7),
- 处理装置(15、16、17),其用于处理所述组件(6、7)的框架结构(4、4’、4’’、4’’’)。
8.经切割的封装组件(6、7),其用根据前述权利要求中任一项所述的方法和/或系统来制造。
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