[发明专利]用于对准基板的方法和装置

权利要求书

1.一种用于对准基板(14、20)的方法，其中

- 进行对准标志(12、15、16)的检测，且

- 依据所述对准标志(12、15、16)的检测将所述基板(14、20)相对于彼此对准，

其特征在于，至少两个对准标志(12、15、16)与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中至少三个对准标志与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中至少一个对准标志(12、15、16)布置在基板保持器(5、6)处或上。

4.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中至少两个对准标志(15、16)布置在基板(14、20)处且至少一个对准标志(12)布置在基板保持器(5、6)处，其中所述对准标志(12、15、16)与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

5.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中用于检测所述对准标志(12、15、16)的检测单元(2、2’、3、3’、3w)布置在至少一个环形测量入口(21)中，优选地布置在至少一个全封闭环形测量入口(21)中。

6.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中用于检测所述对准标志(12、15、16)的检测单元(2、2’、3、3’、3w)布置在两个环形测量入口(21)中，优选地布置在两个全封闭环形测量入口(21)中。

7.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中用于检测所述对准标志(12、15、16)的检测单元(2、2’、3、3’、3w)布置在环形测量入口(21)中，优选地布置在全封闭环形测量入口(21)中、并且布置C形柱中。

8.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中所述对准沿着唯一的对准轴进行，其中该对准轴平行于所述基板(14、20)的装载和卸载方向延伸。

9.一种用于对准基板(14、20)且用于实行根据前述权利要求中任一项所述的方法的装置(1、1’)，其中能够实行对准标志(12、15、16)的检测且能够依据所述对准标志(12、15、16)的检测将所述基板(14、20)相对于彼此对准，其特征在于，至少两个对准标志(12、15、16)与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

10.根据权利要求9所述的装置(1、1’)，其中至少三个对准标志(12、15、16)与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

11.根据上述权利要求中任一项所述的装置(1、1’)，其中至少一个对准标志(12、15、16)布置在基板保持器(5、6)处或上。

12.根据上述权利要求中任一项所述的装置(1、1’)，其中至少两个对准标志(15、16)布置在基板(14、20)处且至少一个对准标志(12)布置在基板保持器(5、6)处，其中所述对准标志(12、15、16)与所述基板(14、20)的线性移动件(18a、18b)齐平地布置。

13.根据上述权利要求中任一项所述的装置(1、1’)，其中用于检测所述对准标志(12、15、16)的检测单元(2、2’、3、3’、3w)布置在至少一个环形测量入口(21)中，优选地布置在至少一个全封闭环形测量入口(21)中。

14.根据上述权利要求中任一项所述的装置(1、1’)，其中用于检测所述对准标志(12、15、16)的检测单元(2、2’、3、3’、3w)布置在两个环形测量入口(21)中，优选地布置在两个全封闭环形测量入口(21)中。