[其他]卷轴体、包装体及捆包物有效
申请号: | 201990000192.2 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN210956601U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 黑田孝博;名儿耶友宏;友利直己 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;C09J7/22;C09J7/25;C09J7/30;C09J7/35;C09J11/06;C09J201/02;H01L23/50 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卷轴 包装 捆包物 | ||
1.一种卷轴体,
其具备卷芯和卷绕在所述卷芯上的半导体密封成形用临时保护膜,
所述半导体密封成形用临时保护膜具备支撑膜和设置在所述支撑膜的单面或两面上且含有树脂的粘接层,
在按照所述粘接层与引线框接触的方式将所述临时保护膜粘贴在具有芯片焊盘及内引线的所述引线框上时,所述粘接层与所述引线框之间的90度剥离强度在25℃下为5N/m以上,
在按照所述粘接层与所述引线框接触的方式将所述临时保护膜粘贴在所述引线框上,在所述芯片焊盘的与所述临时保护膜相反一侧的面上搭载半导体元件,接着对所述半导体元件、所述引线框及所述临时保护膜进行加热,然后形成在与所述粘接层接触的同时将所述半导体元件密封的密封层时,所述粘接层与所述引线框及所述密封层之间的90度剥离强度在180℃下为600N/m以下。
2.根据权利要求1所述的卷轴体,其中,
所述粘接层进一步含有硅烷偶联剂,
所述硅烷偶联剂的含量相对于所述树脂的总量超过5质量%且为35质量%以下。
3.一种卷轴体,
其具备卷芯和卷绕在所述卷芯上的半导体密封成形用临时保护膜,
所述半导体密封成形用临时保护膜具备支撑膜和设置在所述支撑膜的单面或两面上且含有树脂和硅烷偶联剂的粘接层,
所述硅烷偶联剂的含量相对于所述树脂的总量超过5质量%且为35质量%以下。
4.根据权利要求2或3所述的卷轴体,其中,所述硅烷偶联剂由下述式(I)表示,
式中,R1、R2及R3各自独立地表示碳数为1~3的烷氧基、碳数为1~6的烷基或碳数为6~12的芳基,X由下述式(IIa)、(IIb)、(IIc)、(IId)或(IIe)表示,
这些化学式中,R4、R5及R6各自独立地表示碳数为1~6的烷基、碳数为6~12的芳基或氢原子,*表示与碳原子的键合部位。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述粘接层的玻璃化转变温度为100~300℃。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述树脂是具有酰胺基、酯基、酰亚胺基、醚基或磺基的热塑性树脂。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述粘接层的200℃下的弹性模量为1MPa以上。
8.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述粘接层的厚度与所述支撑膜的厚度之比为0.5以下。
9.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述粘接层的厚度为1~20μm。
10.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述支撑膜是选自芳香族聚酰亚胺、芳香族聚酰胺、芳香族聚酰胺酰亚胺、芳香族聚砜、芳香族聚醚砜、聚苯硫醚、芳香族聚醚酮、聚芳酯、芳香族聚醚醚酮及聚萘二甲酸乙二醇酯中的聚合物的膜。
11.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述支撑膜的玻璃化转变温度为200℃以上。
12.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述支撑膜的厚度为5~100μm。
13.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述支撑膜的20~200℃下的线膨胀系数为3.0×10-5以下。
14.根据权利要求1~3中任一项所述的卷轴体,其中,所述支撑膜在200℃下加热60分钟时的收缩率为0.15%以下。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造