[其他]弹性波装置有效
申请号: | 201990000520.9 | 申请日: | 2019-03-07 |
公开(公告)号: | CN213783263U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 大门克也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
提供一种弹性波装置,能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波。本实用新型的弹性波装置具备:压电性基板,其具有高声速构件和直接或间接地设置在高声速构件上的压电体层;以及IDT电极(7),其设置在压电性基板上。IDT电极的相对置的第一电极指(13)及第二虚设电极指(17)中的至少一方的前端的宽度比其他部分的宽度宽,相对置的第二电极指(16)及第一虚设电极指(14)中的至少一方的前端的宽度比其他部分的宽度宽。第一第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时,在与第一第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域,通过分别连结多个第一第二电极指的前端而形成的第一第二包络线弯曲。
技术领域
本实用新型涉及弹性波装置。
背景技术
一直以来,弹性波装置被广泛用于便携电话的滤波器等。在下述的专利文献1中记载有弹性波装置的一例。在该弹性波装置中,依次层叠有高声速膜、低声速膜及压电膜,在压电膜上设置有IDT电极。
这样的弹性波装置虽然能够提高Q值,但存在产生横模式纹波这样的问题。为了抑制横模式纹波,已知使IDT电极的汇流条相对于弹性波传播方向倾斜。但是,在使汇流条如上述那样倾斜的情况下,在谐振频率附近产生纹波。
在专利文献1所记载的弹性波装置中,通过在IDT电极的电极指的前端设置朝弹性波传播方向突出的突出部,能够抑制在谐振频率附近产生的纹波。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2015/098756号
实用新型内容
实用新型要解决的课题
但是,在IDT电极的电极指的前端设置有上述突出部的情况下,存在在反谐振频率附近产生纹波这样的问题。更具体而言,在反谐振频率与阻带上端之间产生纹波。需要说明的是,阻带是指通过将弹性波陷获在光栅而使弹性波的波长成为固定的区域。
本实用新型的目的在于,提供一种能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波的弹性波装置。
用于解决课题的手段
本实用新型的弹性波装置具备:压电性基板,其具有高声速构件和直接或间接地设置在所述高声速构件上的压电体层;以及IDT电极,其设置在所述压电性基板上,在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高,所述IDT电极具有:彼此相对置的第一汇流条及第二汇流条;一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指;一端与所述第二汇流条连接、且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指;一端与所述第一汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第二电极指对置的多个第一虚设电极指;以及一端与所述第二汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第一电极指对置的多个第二虚设电极指,在将所述第一电极指、所述第二电极指、所述第一虚设电极指及所述第二虚设电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时,相对置的所述第一电极指及所述第二虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽,相对置的所述第二电极指及所述第一虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽,所述第一汇流条及所述第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸,在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时,在与所述第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域,通过连结所述多个第一电极指的前端而形成的假想线即第一包络线弯曲,在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时,在与所述第一汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域,通过连结所述多个第二电极指的前端而形成的假想线即第二包络线弯曲。
实用新型效果
根据本实用新型,可提供能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波的弹性波装置。
附图说明
图1是本实用新型的第一实施方式的弹性波装置的正面剖视图。
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