[其他]均热板以及具有该均热板的散热器

说明书

本实用新型提供一种均热板以及具有该均热板的散热器，其机械强度优异，即使热连接有发热量大的被冷却体也能防止受热部干烧，并使液相的工作流体能顺畅地从散热部向受热部回流。均热板具备：容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；和吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，吸液芯结构体具有：第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，并具有使用线状构件的第一吸液芯构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，并具有使用线状构件的第二吸液芯构件，所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯构件的线状构件的平均直径，或者所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述第一吸液芯构件的网眼尺寸。

技术领域

本实用新型涉及一种均热板(vapor chamber)以及具有该均热板的散热器， 其即使热连接有发热量大的被冷却体，也能防止受热部的干烧(dry-out)，从而 液相的工作流体能顺畅地从散热部向受热部回流。

背景技术

搭载于电气/电子设备的半导体元件等电子部件由于伴随高功能化的高密度 搭载等，而发热量增大，近年，其冷却变得愈加重要。另外，由于电气/电子设 备的小型化，电气/电子设备的内部空间变得狭小，并在狭小的空间内搭载半导 体元件等电子部件。作为搭载于狭小空间的电子部件的冷却方法，有时使用均热 板(平面型的热管)。

如上所述，由于被冷却体的发热量增大，因此防止均热板的受热部干烧变得 重要。作为用于防止干烧的方法，具有使吸液芯(wick)结构体的毛细管力提高 的方法。作为使吸液芯结构体的毛细管力提高的均热板，提出有如下方案：将吸 液芯配置于容器(container)的内部，该吸液芯具有：网状构件，其从散热部延 伸至受热部；以及粉末烧结体，其固接于网状构件的受热部，并使受热部的毛细 管力高于散热部的毛细管力(专利文献1)。

在专利文献1中，通过将粉末烧结体压入网状构件的内部，从而受热部的 吸液芯的毛细管力比散热部的吸液芯的毛细管力更高。其结果，防止均热板烧干。

在专利文献1中，在吸液芯的制造中，需要用于对施加于网状构件的粉末 进行烧结的加热处理。另一方面，吸液芯有时还作为用于对减压处理后的容器内 部的空间进行维持的支承构件发挥功能。然而，如专利文献1那样，在构成吸液 芯的网状构件受热时，吸液芯的机械强度因热量的影响而下降，而有时无法充分 得到作为支承构件的功能。另外，在将粉末收纳于容器后进行用于烧结粉末的加 热处理时，有时容器的机械强度因热量的影响而下降。

(在先技术文献)

(专利文献)

专利文献1：JP2018-4108A。

实用新型内容

(实用新型要解决的课题)

鉴于上述事实，本实用新型的目的是提供一种均热板，其机械强度优异，即 使热连接有发热量大的被冷却体也能防止受热部干烧，并能使液相的工作流体 顺畅地从散热部向受热部回流。

(用于解决课题的技术方案)

本实用新型的构成要素的主旨如下。

[1]一种均热板，其具备：容器，其具有将一个板状构件和与该一个板状构件 对置的另一个板状构件层叠而形成的中空的空腔部；工作流体，其被封入所述 空腔部；以及吸液芯结构体，其设置于所述空腔部，所述吸液芯结构体具有： 第一吸液芯部，其从受热部延伸至散热部，且具有使用线状构件的第一吸液芯 构件；以及第二吸液芯部，其设置于所述受热部，且具有使用线状构件的第二 吸液芯构件，所述第二吸液芯构件的线状构件的平均直径小于所述第一吸液芯 构件的线状构件的平均直径，或者，所述第二吸液芯构件的网眼尺寸小于所述 第一吸液芯构件的网眼尺寸。

[2]根据[1]中记载的均热板，其中，所述第二吸液芯部与所述第一吸液芯 部层叠。