[发明专利]一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法

权利要求书

1.一种激光热模光刻胶用显影液，其特征在于：所述的显影液由一种或多种氧化性离子和酸性溶液组成，各物质浓度配比为氧化性离子0.1-3mol/L、酸性溶液0-3mol/L。

2.根据权利要求1所述的激光热模光刻胶用显影液，其特征在于，所述的氧化性离子和浓度是高锰酸根离子(0.1-3mol/L)、重铬酸根离子(0.1-3mol/L)、高氯酸根离子(0.1-3mol/L)、三价铁离子(0.1-3mol/L)和/或铜离子(0.1-3mol/L)。

3.根据权利要求1所述的激光热模光刻胶用显影液，其特征在于，所述的酸性溶液及浓度是硫酸(0-1.5mol/L)、硝酸(0-3mol/L)、高氯酸(0-1.5mol/L)和/或盐酸(0-3mol/L)。

4.根据权利要求1所述的激光热模光刻胶用显影液，其特征在于，所述的热模光刻胶材料是Te基硫化物相变材料。

5.制备权利要求1-4任一所述的激光热模光刻胶用显影液的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

第一步：将含有氧化性离子固体或溶液和一元或多元酸性溶液按照计量配制；

第二步：溶解稀释含有氧化性离子的固体或溶液后，不断搅拌，用胶头滴管加入酸性溶液调节PH值为1-6，；

第三步：将第二步得到的混合物进行过滤，得到所述的激光热模光刻胶用显影液。

6.根据权利要求5所述的制备激光热模光刻胶用显影液的方法，其特征在于，所述搅拌为在常温、常压下进行机械搅拌或磁力搅拌。

7.根据权利要求5所述的制备激光热模光刻胶用显影液的方法，其特征在于，所述过滤次数至少2次，采用的过滤器的微滤膜孔径为0.08-0.3μm。