[发明专利]一种缓蚀剂分子的定性、半定量检测方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂分子的定性、半定量检测方法，其特征在于，所述方法利用等离激元纳米材料的表面增强拉曼效应，放大金属及其合金表面吸附的缓蚀剂分子的拉曼光谱信号，实现缓蚀剂分子的定性检测和半定量检测；

所述定性检测的方法具体为：利用拉曼光谱仪检测缓蚀剂分子的拉曼信号，通过拉曼位移对缓蚀剂分子进行定性检测；

所述半定量检测的方法具体为：利用拉曼光谱仪检测缓蚀剂分子的拉曼信号，根据拉曼峰强随时间变化或缓蚀剂浓度变化的变化，对缓蚀剂进行半定量检测，所述方法具体步骤如下：

步骤1：将试样金属及其合金浸泡在缓蚀剂溶液中；

步骤2：浸泡后将试样金属及其合金取出后干燥处理；

步骤3：在干燥处理后的试样金属及其合金的表面沉积或覆盖一层等离激元纳米材料薄膜，获得等离激元纳米复合材料；

步骤4：使用拉曼光谱仪，检测步骤3中等离激元纳米复合材料表面吸附的缓蚀剂分子的拉曼光谱信号；

步骤5：根据拉曼光谱信号中的拉曼位移和拉曼峰强对缓蚀剂分子进行定性检测和半定量检测。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤1中缓蚀剂为有机或无机分子，所述缓蚀剂具有抑制金属及其合金腐蚀的作用。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤3中等离激元纳米材料薄膜的材料为金、银、铜、铝或氮化钛，结构为纳米颗粒或纳米棒。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤5中定性检测具体为：将测量得到的拉曼光谱与缓蚀剂分子的标准拉曼光谱进行对比，确认所测缓蚀剂的种类。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤5中半定量检测具体为：根据拉曼峰强随时间或缓蚀剂浓度的变化，反映出缓蚀剂吸附数量、吸附速率、吸附饱和或脱附信息。