[发明专利]用于离子束刻蚀预热稳定装置及离子束刻蚀预热稳定方法

权利要求书

1.一种用于离子束刻蚀预热稳定装置，其特征在于：稳定装置包括屏蔽挡板和连接屏蔽挡板的侧面旋转支架，屏蔽挡板和侧面旋转支架位于离子束刻蚀机的真空室舱门内，侧面旋转支架的外端连接旋转操作杆，旋转操作杆的外段为螺纹杆段，旋转操作杆密封穿过真空室外壁，通过连接螺纹杆段的锁紧螺母与真空室舱壁可调节式固定连接；在屏蔽挡板转至竖直状态下，屏蔽挡板与工作台呈平行设置，屏蔽挡板位于工作台的正前方和离子源的离子输出端的后方，在屏蔽挡板转至水平状态下，屏蔽挡板位于工作台的上方。

2.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀预热稳定装置，其特征在于：屏蔽挡板采用不锈钢材质制成。

3.一种离子束刻蚀预热稳定方法，其特征在于，所述方法采用权利要求1或2所述的用于离子束刻蚀预热稳定装置，步骤为：

S1将待加工件装入工件台上固定，转动旋转操作杆，带动侧面旋转支架和屏蔽挡板转动，使屏蔽挡板转动至与工作台平行的正前方位置，并通过锁紧螺母锁紧旋转操作杆；

S2关闭真空室舱门，抽真空，使其达到刻蚀工作压强，充入氩气；

S3待真空度稳定后，通电开启离子束，观察屏栅极电流和工作台电流，直到束流稳定，在该过程中离子束撞击屏蔽挡板的前端面；

S4待束流稳定后，松开锁紧螺母，转动旋转操作杆，将屏蔽挡板转动至真空室上方；

S5待屏蔽挡板向上转动到位后，开始计算离子源起始工作时间，对工件进行正式离子束刻蚀。