[发明专利]一种晶圆片平面测量仪

权利要求书

1.一种晶圆片平面测量仪，其特征在于：包括

主机架；

副机架，所述副机架固定设于主机架上，所述副机架顶部固定设有测试模组；

气浮平台，固定安装于主机架上，用于减缓测试时产生的抖动；

其中，所述气浮平台上设有用于放置待测片的旋转放置平台和垂直于台面的标准平镜，所述测试模组位于标准平镜和被测片之间；所述旋转放置平台包括固定底座和转动连接在固定底座上的旋转底座，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态，所述旋转底座的一端设有抱持机构，用于抱持住被测片；在所述旋转底座上与所述抱持机构相对的另一端设有滑座，所述滑座上设有丝杆和与丝杆连接的滑动块，滑动块上设有推杆，用于推动被测片；所述旋转底座内沿周向间隔60°均布有三组滑道和与滑道匹配的滑块，三组滑块上均设有支撑点连接件，用于支撑被测片；其中，在所述旋转底座为竖直状态时，最顶端一组的滑块上固定连接有抱持机构，其余两组的滑块上固定设有能够卡住被测片的支撑柱连接件；所述旋转底座侧壁上沿轴线对称安装有旋转轴，所述固定底座上固定安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置通过一端的旋转轴与旋转底座连接，用于驱动旋转底座沿旋转轴转动。

2.如权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述抱持机构包括固定座，所述固定座通过滑杆滑动安装有抱持夹手，所述抱持夹手的后端连接有第一驱动装置，用于控制保持夹手的松紧动作。

3.如权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于：所述支撑柱连接件沿外壁环绕设有一圈凹陷，用于卡住被测片。

4.如权利要求2所述的测量仪，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置为旋转电机；或者，所述第一驱动装置和第二驱动装置为旋转气缸。

5.如权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于：所述测试模组包括沿副机架横向固定的X模组和在滑动连接在X模组上的Z模组，所述Z模组上滑动安装有传感器A和传感器B。

6.如权利要求5所述的测量仪，其特征在于：所述X模组包括第一滑轨，所述第一滑轨上滑动连接有与第一滑轨垂直的第二滑轨，所述传感器A和传感器B通过滑片滑动安装在第二滑轨上，并且与第一滑轨和第二滑轨均垂直，所述传感器A和传感器B沿第二滑轨对称设于滑片两端。

7.如权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于：所述旋转放置平台与气浮平台之间通过Y模组滑动连接，所述Y模组包括固定设于气浮平台上的滑道，所述旋转放置平台底部设有与滑道匹配的滑块。

8.如权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于：所述气浮平台通过气浮减震器A和主机架连接，所述副机架通过气浮减震器B和主机架连接；所述气浮减震器A和气浮减震器B为空气弹簧。

9.如权利要求3所述的测量仪，其特征在于：所述气浮平台通过气浮减震器A和主机架连接，所述副机架通过气浮减震器B和主机架连接；所述气浮减震器A和气浮减震器B为空气弹簧。