[发明专利]一种阵列式液滴晶体制备方法及装置在审

专利信息
申请号: 202010005665.7 申请日: 2020-01-03
公开(公告)号: CN111139517A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 周禹杉 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C30B7/02 分类号: C30B7/02
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 郑海峰
地址: 310014 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 阵列 式液滴 晶体 制备 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于包括操作箱、阵列液滴制备模块、晶体生长基底模块和溶剂吸收装置;

所述的操作箱为可封闭腔体,其内部设有温湿度调控模块,所述溶剂吸收装置设置在操作箱上并与操作箱内部连通;所述的操作箱内设有多层晶体生长区域,晶体生长区域之间以隔板相隔,晶体生长区域之间的气体相通;

所述的晶体生长基底模块上表面经过疏水处理;晶体生长基底模块可水平放置在晶体生长区域内,并可从晶体生长区域取出;

所述的阵列液滴制备模块包括若干结构相同呈阵列布置的滴液管,阵列液滴制备模块用于向晶体生长基底板滴液;滴液时,阵列液滴制备模块位于晶体生长基底模块正上方。

2.根据权利要求1所述的阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于所述的操作箱侧边设有基底进出门,基底进出门与操作箱箱体之间设有密封条。

3.根据权利要求1所述的阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于所述的溶剂吸收模块包括筒体和与筒体相连的吸气泵,所述的筒体内填充有固体吸收剂,筒体与操作箱内的空腔相通。

4.根据权利要求1所述的阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于所述的温湿度调控模块包括控制器、加热器、冷风机、加湿器和温湿度传感器,所述的温湿度传感器与控制器相连用于传输温湿度检测数据,所述的控制器与加热器、冷风机、加湿器电连接。

5.根据权利要求1所述的阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于所述的滴液管内设有活塞,滴液管底部设有滴液头;所述的阵列液滴制备模块还包括至少一个步进电机,所述滴液管的活塞通过连接件与步进电机相连;所述阵列液滴制备模块内的活塞同步运动。

6.根据权利要求1所述的阵列式液滴晶体制备装置,其特征在于所述的晶体生长基底模块上表面为光滑平面。

7.一种阵列式液滴晶体制备方法,其特征在于包括如下步骤:

1)配制晶体生长溶液;

2)阵列式液滴制备模块吸取晶体生长溶液,将阵列式液滴制备模块移动到晶体生长基底模块的正上方;调节阵列式液滴制备模块与晶体生长基底模块间的距离至设定值;

3)阵列式液滴制备模块将液滴定量、精确地滴加到晶体生长基底模块上;

4)设定操作箱内的温度和湿度设定值,将晶体生长基底模块水平运送至操作箱内的晶体生长区域,然后封闭操作箱;温湿度调控模块工作使操作箱内的温湿度维持在设定值;启动溶剂吸收装置对操作箱内挥发的溶剂进行吸收;

5)开始晶体生长过程,待生长结束后,取出晶体生长基底模块,将晶体与晶体生长基底模块进行分离。

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